[实用新型]一种新型多层芯片焊接固晶机有效
| 申请号: | 201921702664.7 | 申请日: | 2019-10-12 |
| 公开(公告)号: | CN210925950U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 李隆;张倩;赵凡;蒋思蕾;丁晓静 | 申请(专利权)人: | 苏州驰彭电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 多层 芯片 焊接 固晶机 | ||
1.一种新型多层芯片焊接固晶机,包括固晶机主体(1),其特征在于:所述固晶机主体(1)的台面上安装有两组芯片固定装置(2),所述固晶机主体(1)的台面上靠近芯片固定装置(2)的一侧固定有电机(3),其中;
所述电机(3)的上端连接有支撑杆(4),所述支撑杆(4)的上端四周环绕安装有连接杆(5),所述连接杆(5)的一端固定有固定盘(6),所述固定盘(6)的上方固定有抽气泵(7),所述抽气泵(7)的靠近固定盘(6)外端的一侧安装有气管(8),所述气管(8)贯穿过固定盘(6)与吸附底座(10)连接,所述固定盘(6)的底面安装有电动伸缩杆(9),所述电动伸缩杆(9)的底部固定有吸附底座(10);
所述固晶机主体(1)的台面一侧安装有传送带(11),所述固晶机主体(1)台面上靠近传送带(11)的另一侧安装有输送带(12)。
2.根据权利要求1所述的一种新型多层芯片焊接固晶机,其特征在于:所述电机(3)、支撑杆(4)、连接杆(5)、固定盘(6)、抽气泵(7)、气管(8)、电动伸缩杆(9)和吸附底座(10)构成一组机构,且该机构设置有2组,并且2组该机构关于固晶机主体(1)的台面中轴线对称。
3.根据权利要求1所述的一种新型多层芯片焊接固晶机,其特征在于:所述连接杆(5)设置有四根,且四根连接杆(5)分别以支撑杆(4)的圆心为中点环绕分布成“十”字结构。
4.根据权利要求1所述的一种新型多层芯片焊接固晶机,其特征在于:所述连接杆(5)、固定盘(6)、抽气泵(7)、气管(8)、电动伸缩杆(9)和吸附底座(10)构成一组独立机构。
5.根据权利要求1所述的一种新型多层芯片焊接固晶机,其特征在于:所述固定盘(6)的形状为矩形,且固定盘(6)关于支撑杆(4)的圆心构成环绕结构。
6.根据权利要求1所述的一种新型多层芯片焊接固晶机,其特征在于:所述电动伸缩杆(9)与吸附底座(10)之间构成伸缩结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





