[实用新型]一种生产多晶硅的废气回收系统

说明书

本实用新型公开了一种生产多晶硅的废气回收系统，其包括氢气源、氯硅烷储罐、精馏塔、第一冷凝器、储液罐、缓存罐、冷氢化系统、第一氢压机、第二冷凝器和第二氢压机。有益效果：本实用新型连接关系简单，易实现，实现了氢气的回收利用，避免了浪费，减少了生产成本，同时也实现了氯化氢和氯硅烷的回收利用，避免了废气外排污染了环境。

技术领域：

本实用新型涉及一种废气回收系统，特别涉及一种生产多晶硅的废气回收系统。

背景技术：

高纯多晶硅的生产广泛地采用氢气还原SiHCI₃法，即西门子法。目前在生产多晶硅的过程中，氯硅烷储罐与从氯硅烷中提纯三氯氢硅的精馏塔中均需要通入氮气以保持气压稳定，最后产生的废气在经过废气淋洗塔用石灰乳进行清洗，清洗后直接外排，造成氮气的浪费，同时由于加入氮气的量较多，因此会有大量溶解到三氯氢硅内的氮气随着三氯氢硅被送到还原炉中，并且向原炉中输送氢气，氢气与三氯氢硅反应生成多晶硅以及其他氯硅烷气体，而氮气也会参与反应生成杂质氮化硅；杂质氮化硅会造成多晶硅纯度不高，品质较差，因此将通氮气改为向氯硅烷储罐与精馏塔中通氢气，来保持气压稳定，但是经过废气淋洗塔用石灰乳进行清洗，清洗后外排会造成氢气的浪费，增加了生产成本。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种连接关系简单，实现了氢气回收利用的生产多晶硅的废气回收系统。

本实用新型由如下技术方案实施：一种生产多晶硅的废气回收系统，其特征在于，其包括氢气源、氯硅烷储罐、精馏塔、第一冷凝器、储液罐、缓存罐、冷氢化系统、第一氢压机、第二冷凝器和第二氢压机；所述氢气源分别与所述氯硅烷储罐和所述精馏塔的进气口通过管道连通；所述氯硅烷储罐的出液口与所述精馏塔的进液口通过管道连通，所述精馏塔的出气口与所述第一冷凝器的进气口通过管道连通，所述第一冷凝器的出液口与所述储液罐的进液口通过管道连通，所述储液罐的出液口与所述精馏塔的进液口通过管道连通；所述第一冷凝器的出气口与所述缓存罐的进气口通过管道连通，所述缓存罐的出气口与所述冷氢化系统的进气口通过管道连通，在所述缓存罐与所述冷氢化系统之间的管道上设置有所述第一氢压机；所述冷氢化系统的出气口与所述第二冷凝器的进气口通过管道连通，所述第二冷凝器的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通，所述第二冷凝器的出气口与所述冷氢化系统的进气口通过管道连通；在所述第二冷凝器与所述冷氢化系统之间的管道上设置有所述第二氢压机。

进一步的，其还包括还原炉、第三冷凝器、第三氢压机、废气吸收塔、解吸塔和活性炭吸附塔；所述储液罐的出液口还与所述还原炉的进液口通过管道连通；所述氢气源与所述还原炉的进气口通过管道连通；所述还原炉的出气口与所述第三冷凝器的进气口通过管道连通，所述第三冷凝器的出液口与所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通，所述第三冷凝器的出气口所述废气吸收塔的进气口通过管道连通；在所述第三冷凝器与所述废气吸收塔之间的管道上设置有所述第三氢压机；所述废气吸收塔的出液口与所述解吸塔的进液口通过管道连通；所述解吸塔的出液口分别与所述废气吸收塔和所述氯硅烷储罐的进液口通过管道连通；所述废气吸收塔的出气口与所述活性炭吸附塔的进气口通过管道连通，所述活性炭吸附塔的出气口与所述还原炉的进气口通过管道连通。

进一步的，所述冷氢化系统包括四氯化硅储罐、汽化器、流化床、硅粉储罐和急冷塔；所述四氯化硅储罐与所述汽化器的进液口通过管道连通；所述汽化器、所述第一氢压机和所述第二氢压机的出气口均与所述流化床的进气口通过管道连通，所述硅粉储罐的出料口与所述流化床的进料口连通；所述流化床的出气口与所述急冷塔的进气口通过管道连通，所述急冷塔的出气口与所述第二冷凝器的进气口通过管道连通。

本实用新型的优点：本实用新型连接关系简单，易实现，将从精馏塔排放的废气送到冷氢化系统中参与生成氯硅烷的反应，同时还原炉排出的废气经过废气吸收塔实现了氯化氢和氯硅烷的回收，然后经过活性炭吸附塔吸收微量的氯化氢和氯硅烷后的氢气则重新被送到还原炉中参与反应，实现了氢气的回收利用，避免了浪费，减少了生产成本，同时也实现了氯化氢和氯硅烷的回收利用，避免了废气外排污染了环境。