[实用新型]一种图形化复合衬底和LED外延片有效
| 申请号： | 201921684854.0 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN211125684U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陆前军;张剑桥;康凯;肖桂明;王子荣;吴伟;曾广艺 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图形 复合 衬底 led 外延 | ||
【权利要求书】：
1.一种图形化复合衬底，其特征在于，包括：
衬底基板，所述衬底基板上表面形成有阵列排布的多个凹洞，且所述凹洞的开口尺寸小于阵列排布的所述多个凹洞的周期；
异质微结构，所述异质微结构填充于所述凹洞中，所述异质微结构由异质材料制成，所述异质材料的折射率低于或高于所述衬底基板的折射率。
2.根据权利要求1所述的图形化复合衬底，其特征在于，
所述异质微结构的上表面与所述衬底基板的上表面齐平，且所述异质微结构的底部与所述凹洞底部形成中空结构。
3.根据权利要求1或2所述的图形化复合衬底，其特征在于，
所述异质微结构包括至少两层异质微结构层，所述至少两层异质微结构层的异质材料的折射率不同；
或者，所述异质微结构混合至少两种异质材料。
4.根据权利要求1所述的图形化复合衬底，其特征在于，所述凹洞的形状包括多棱锥、圆锥、椭圆锥、圆台、圆柱、多边体中的至少一种。
5.一种LED外延片，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的图形化复合衬底，以及形成于所述图形化复合衬底上的外延层。
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