[实用新型]一种化学气相沉积的喷淋设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积的喷淋设备，包括载板(1)，其特征在于：所述载板(1)的顶部固定安装有外桶(2)，所述外桶(2)的内壁固定安装有内筒(3)，所述内筒(3)的顶部开设有环形密封槽(4)，所述环形密封槽(4)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到外桶(2)上方的上桶(5)，所述外桶(2)的左侧固定安装有一端贯穿并延伸到内筒(3)内部的通气管(6)，所述上桶(5)的左右两侧且位于外桶(2)的外部均固定安装有横板(7)，所述外桶(2)的左右两侧均固定安装有定位板(8)，所述外桶(2)的顶部开设有环形隔断槽(9)，所述横板(7)的底部固定安装有一端贯穿并延伸到环形隔断槽(9)内部的环形隔断板(10)，所述横板(7)的底部固定安装有一端贯穿并延伸到定位板(8)下方的螺纹拉杆(11)，所述螺纹拉杆(11)的外部且位于定位板(8)的下方套接有定位螺帽(12)，所述载板(1)的顶部且位于外桶(2)的右侧固定安装有循环水泵(13)，所述循环水泵(13)的进水口连通有一端贯穿外桶(2)和内筒(3)并延伸到内筒(3)内部的抽水管(14)，所述循环水泵(13)的出水口连通有一端贯穿并延伸到上桶(5)内部的喷水管(15)，所述喷水管(15)位于上桶(5)内部的一端连通有喷头(16)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积的喷淋设备，其特征在于：所述载板(1)为铸铁板，所述载板(1)的厚度为两厘米，所述外桶(2)的底部固定安装有橡胶座。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积的喷淋设备，其特征在于：所述环形密封槽(4)和上桶(5)相匹配，所述上桶(5)的底部为斜面，所述外桶(2)和内筒(3)的内部均开设有与通气管(6)相匹配的通孔。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积的喷淋设备，其特征在于：所述环形隔断槽(9)和环形隔断板(10)相匹配，所述环形隔断板(10)的底部为斜面。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积的喷淋设备，其特征在于：所述定位板(8)的内部开设有与螺纹拉杆(11)相匹配的通孔，所述螺纹拉杆(11)和定位螺帽(12)相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积的喷淋设备，其特征在于：所述外桶(2)和内筒(3)的内部均开设有与抽水管(14)相匹配的通孔，所述上桶(5)的内部开设有与喷水管(15)相匹配的通孔。