[实用新型]一种热反射装置及管式真空加热设备

说明书

本实用新型公开了一种热反射装置及管式真空加热设备，该热反射装置包括：炉门板，其形状与管式真空加热设备的截面一致；至少两层挡热板，其设于所述炉门板的同一侧；其中，所述炉门板与所述挡热板设置在所述管式真空加热设备的端部。本案的热反射装置不仅可以反射80％的进射热量，而且可以避免因辐射传热炉门板因辐射传热温度过高导致密封圈变性失效，从而炉门的密封性能会受到影响。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备领域，特别涉及一种热反射装置及管式真空加热设备。

背景技术

在太阳能电池制备领域中，采用PEVCD方式在电池表面上沉积形成减反膜是众所周知中，在沉积过程中往往需要用到用于提供沉积反应空间的管式真空加热设备。在研究和优化PEVCD沉积工艺的过程中，发明人发现现有技术中的管式真空加热设备至少存在如下问题：

现有技术中的很多真空加热设备炉门直接与炉体工艺腔直接压紧密封，保温隔热性能差，由于在真空状态下，高温炉体工艺腔主要通过热辐射的方式向周围传热，这将导致炉体工艺腔中出现升温慢和保温过程中热量损失过多的问题。

有鉴于此，实有必要开发一种热反射装置及管式真空加热设备，用以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种热反射装置，其通过在炉门板的内侧加装双层镀铝硅挡热钢板，不仅可以反射80％的进射热量，而且可以避免因辐射传热炉门板因辐射传热温度过高导致密封圈变性失效，从而炉门的密封性能会受到影响。

为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种热反射装置，包括：

炉门板，其形状与管式真空加热设备的截面一致；

至少两层挡热板，其设于所述炉门板的同一侧；

其中，所述炉门板与所述挡热板设置在所述管式真空加热设备的端部。

优选的是，两两所述挡热板之间设有一定间距；

其中，两两所述挡热板之间设有氧化铝陶瓷螺丝固定。

优选的是，两两所述挡热板的表面镀有隔热反射的薄膜。

优选的是，两两所述挡热板的表面的薄膜为镀铝硅膜。

优选的是，所述炉门板朝向所述挡热板的面上设有一燕尾槽。

优选的是，所述燕尾槽的形状与所述炉门板一致；

其中，所述燕尾槽位于所述炉门板的边缘处。

优选的是，所述炉门板上设有一氟胶O型圈；

其中，所述氟胶O型圈与所述燕尾槽相匹配。

进一步地，本案还公开一种管式真空加热设备，其包含有前述任一项的热反射装置。

本发明与现有技术相比，其有益效果是：通过在炉门板的内侧加装双层镀铝硅挡热钢板，不仅可以反射80％的进射热量，而且可以避免因辐射传热炉门板因辐射传热温度过高导致密封圈变性失效，从而炉门的密封性能会受到影响。

附图说明

图1为根据本发明一个实施方式提出的热反射装置的立体图；

图2为根据本发明一个实施方式提出的热反射装置的立体图；

图3为根据本发明一个实施方式提出的热反射装置的右视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，本发明的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。