[实用新型]晶圆盒抓取专用机械手

权利要求书

1.晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：包括一L型固定板（1），所述L型固定板（1）上垂直设置有支撑板（2）；所述支撑板（2）的一侧设置有马达（6）；所述马达（6）的输出轴穿过所述支撑板（2）并通过联轴器与一偏心轴（4）连接；所述偏心轴（4）的两侧对称设置有两个旋转臂（3），所述旋转臂（3）的第一端与所述支撑板（2）垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板（2）的第二端上固定有夹爪（31），所述马达（6）驱动偏心轴（4）转动，进而驱动两个旋转臂（3）同时呈相反方向转动，使其夹爪（31）产生夹持或松开动作。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述偏心轴（4）由两个直径不一致的圆柱管组成，第一圆柱（41）固设于第二圆柱（42）中部段且所述第一圆柱（41）与第二圆柱（42）非同心设置，所述第一圆柱（41）的直径大于所述第二圆柱（42）的直径。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述两个旋转臂（3）上临近其第一端处各固定有一导向块（5），所述导向块（5）由所述偏心轴（4）驱动而产生绕所述偏心轴（4）的第二圆柱（42）的轴线的旋转运动。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述导向块（5）的固定端固定于所述旋转臂（3）上，其自由端呈U型结构，所述偏心轴（4）的第一圆柱（41）置于所述U型结构的开口部。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述导向块（5）的固定端通过螺栓夹持固定于所述旋转臂（3）上。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：分别设置在所述两个旋转臂（3）的导向块（5）呈对称结构，各自的U型结构并排叉设在第一圆柱（41）外侧。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述第一圆柱（41）的两端分别套设有第一固定板（411）和第二固定板（412）用于限制所述偏心轴（4）。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述旋转臂（3）均穿过所述第二固定板（412），两者之间为轴承连接。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述夹爪（31）下设置有一微动开关（32），用于感知所述夹爪（31）是否夹取到晶圆盒。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述微动开关（32）为距离传感器。