[实用新型]电池片退火炉有效
| 申请号: | 201921438437.8 | 申请日: | 2019-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN210200678U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 济南德伟华智能技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/324;H01L31/18 |
| 代理公司: | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人: | 闫晓燕 |
| 地址: | 250000 山东省济南市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电池 退火炉 | ||
1.电池片退火炉,其特征在于:包括炉体(1)、进风口(2)、排风口(3)与运输装置(4),所述进风口(2)设置在炉体(1)顶部,所述排风口(3)设置在炉体(1)底部,所述运输装置(4)位于进风口(2)下方,所述排风口(3)为多个,在炉体(1)底部沿炉体(1)长度方向分布,每个所述排风口(3)下方连接一个排风装置(6)。
2.根据权利要求1所述的电池片退火炉,其特征在于:所述进风口(2)与运输装置(4)之间设有光照装置(5),所述光照装置(5)设有风道(51),所述风道(51)位置与进风口(2)相匹配,空气由进风口(2)向下直接到达运输装置(4)。
3.根据权利要求2所述的电池片退火炉,其特征在于:所述光照装置(5)包括基板(52)与光源,所述光源设于基板(52)下方,所述基板(52)设有冷却水路(53)。
4.根据权利要求3所述的电池片退火炉,其特征在于:所述冷却水路(53)包括两个主水路(54)与多个支水路(55),两个所述主水路(54)平行,多个所述支水路(55)设置在两个主水路(54)之间,并连同主水路(54),所述主水路(54)与支水路(55)围成风道(51)。
5.根据权利要求3所述的电池片退火炉,其特征在于:所述冷却水路(53)为蛇形水路。
6.根据权利要求1所述的电池片退火炉,其特征在于:所述排风装置(6)包括壳体(61)与风机,所述壳体(61)入口与排风口(3)连接,所述风机设置在壳体(61)内靠近出口的一端,所述风机与排风口(3)之间设有冷却装置。
7.根据权利要求6所述的电池片退火炉,其特征在于:所述冷却装置包括冷却管(63)与翅片(64),所述冷却管(63)穿过翅片(64)设置。
8.根据权利要求6或7所述的电池片退火炉,其特征在于:所述炉体(1)下部被设置成多个排风室(11),每个所述排风室(11)匹配一个排风口(3),相邻的排风室(11)之间设有排风隔板(12)。
9.根据权利要求8所述的电池片退火炉,其特征在于:所述炉体(1)上部设有进风隔板(13),所述进风隔板(13)的数量及位置与排风隔板(12)匹配。
10.根据权利要求8所述的电池片退火炉,其特征在于:所述排风装置(6)设有温度检测装置(62)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





