[实用新型]一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置

说明书

本实用新型公开了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置，包括炉体，所述炉体内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块，同一水平面上的四个固定块为一组，两组固定块的相对一侧均设有第一插槽，同一水平面上的第一插槽为一组，所述炉体内设有第二筒体和两个第一筒体，所述第二筒体的上下两端均等间距设有四个第二插槽。本实用新型解决了不方便对隔热装置进行拆解的问题，同时也解决隔热装置发生变形或损坏时不方便进行维修和更换的问题，降低了作人员的劳动强度，提高了工作效率，有效的规避了对整个装置进行更换所造成成本增加的情况发生，提高了稳定性，同时还增强了保温隔热效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，尤其涉及一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

目前，在生产半导体时，需要使用热场坩埚对半导体材料进行加热，由于加热时温度较高，需要利用隔热装置，但是，现有的热场坩埚用的隔热装置大部分都是固定式的，不方便进行拆分，在隔热装置因高温发生变形或损坏时，需要对整套装置进行维修或更换，费时费力，工作强度大，而且成本高，为此，我们提出了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置，包括炉体，所述炉体内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块，同一水平面上的四个固定块为一组，两组固定块的相对一侧均设有第一插槽，同一水平面上的第一插槽为一组，所述炉体内设有第二筒体和两个第一筒体，所述第二筒体的上下两端均等间距设有四个第二插槽，同一水平面上的四个第二插槽为一组，所述第一筒体的上下两端均等间距固定有四个插板，同一水平面上的四个插板为一组，其中两组插板的一端分别延伸至两组第二插槽内，另外两组插板的一端分别延伸至两组第一插槽内，所述炉体内的底部设有支撑机构，所述支撑机构的上端固定有坩埚本体，所述坩埚本体位于第一筒体和第二筒体的中部，位于炉体内上端的四个固定块一侧均固定有支撑块，所述支撑块的上端固定有连接块，四个连接块之间共同固定有进料斗，所述进料斗的下端延伸至坩埚本体内，所述第二筒体和两个第一筒体内的一周侧壁上共同固定有隔热板。

优选地，所述第二筒体的一周侧壁上等间距设有四个安装槽，所述安装槽的一端设有豁口，所述炉体内的一周侧壁上等间距固定有四个轨道，所述轨道的一端贯穿豁口并延伸至安装槽内，所述炉体的一周侧壁上设有四个第一通孔，所述轨道上设有和第一通孔对应的第三通孔，所述安装槽内的一端侧壁上设有和第三通孔对应的第一螺纹盲孔，所述第一通孔内贯穿设有第二螺钉，所述第二螺钉的一端贯穿第三通孔并延伸至第一螺纹盲孔内。

优选地，所述炉体的一周侧壁上设有十六个第二通孔，所述固定块的一侧设有两个和第二通孔对应的第二螺纹盲孔，所述第二通孔内贯穿设有第一螺钉，所述第一螺钉的一端延伸至第二螺纹盲孔内。

优选地，所述隔热板采用硅酸铝质耐火纤维材质制成。

优选地，所述安装槽的深度为1-1.5厘米。

优选地，所述第一筒体和第二筒体均采用碳-碳复合材料制成。

优选地，两个第一筒体和第二筒体的连接处均涂覆有耐高温密封胶。

一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置的使用方法，包括以下步骤：