[实用新型]一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置有效

专利信息
申请号: 201921392277.8 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN210529105U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 马怡军 申请(专利权)人: 大同新成新材料股份有限公司
主分类号: C30B28/04 分类号: C30B28/04;C30B29/06
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 申绍中
地址: 037002 *** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 多品硅热场 坩埚 体式 隔热 装置
【权利要求书】:

1.一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块(6),同一水平面上的四个固定块(6)为一组,两组固定块(6)的相对一侧均设有第一插槽,同一水平面上的第一插槽为一组,所述炉体(1)内设有第二筒体(10)和两个第一筒体(4),所述第二筒体(10)的上下两端均等间距设有四个第二插槽(3),同一水平面上的四个第二插槽(3)为一组,所述第一筒体(4)的上下两端均等间距固定有四个插板(14),同一水平面上的四个插板(14)为一组,其中两组插板(14)的一端分别延伸至两组第二插槽(3)内,另外两组插板(14)的一端分别延伸至两组第一插槽内,所述炉体(1)内的底部设有支撑机构(7),所述支撑机构(7)的上端固定有坩埚本体(8),所述坩埚本体(8)位于第一筒体(4)和第二筒体(10)的中部,位于炉体(1)内上端的四个固定块(6)一侧均固定有支撑块(11),所述支撑块(11)的上端固定有连接块(13),四个连接块(13)之间共同固定有进料斗(12),所述进料斗(12)的下端延伸至坩埚本体(8)内,所述第二筒体(10)和两个第一筒体(4)内的一周侧壁上共同固定有隔热板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:所述第二筒体(10)的一周侧壁上等间距设有四个安装槽(15),所述安装槽(15)的一端设有豁口,所述炉体(1)内的一周侧壁上等间距固定有四个轨道(17),所述轨道(17)的一端贯穿豁口并延伸至安装槽(15)内,所述炉体(1)的一周侧壁上设有四个第一通孔,所述轨道(17)上设有和第一通孔对应的第三通孔,所述安装槽(15)内的一端侧壁上设有和第三通孔对应的第一螺纹盲孔(16),所述第一通孔内贯穿设有第二螺钉(9),所述第二螺钉(9)的一端贯穿第三通孔并延伸至第一螺纹盲孔(16)内。

3.根据权利要求1所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:所述炉体(1)的一周侧壁上设有十六个第二通孔,所述固定块(6)的一侧设有两个和第二通孔对应的第二螺纹盲孔,所述第二通孔内贯穿设有第一螺钉(2),所述第一螺钉(2)的一端延伸至第二螺纹盲孔内。

4.根据权利要求1所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:所述隔热板(5)采用硅酸铝质耐火纤维材质制成。

5.根据权利要求2所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:所述安装槽(15)的深度为1-1.5厘米。

6.根据权利要求1所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:所述第一筒体(4)和第二筒体(10)均采用碳-碳复合材料制成。

7.根据权利要求1所述的一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置,其特征在于:两个第一筒体(4)和第二筒体(10)的连接处均涂覆有耐高温密封胶。

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