[实用新型]掩模版保护膜的撬膜装置

说明书

本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置，包括：掩模温控模块，该模块设置于下平台内；膜框冷却模块，位于上盖板上且对应膜框位置，用于对模框降温；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；连接件，用于连接上盖板与膜框，上盖板开启时，带动膜框、保护膜从掩模版上脱离，本专利申请利用掩模版加热模块对掩模版进行加热，在通过高温将掩模版上的胶融化的同时，并利用液体冷却给于膜框低温特性，增强胶对膜框的粘性，从而使去膜过程中，既降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率。

技术领域

本实用新型主要涉及掩模版技术领域，尤其涉及掩模版保护膜的撬膜装置。

背景技术

掩模版保护膜用于保护掩模版，防止在使用过程中颗粒掉落到掩模版版面上，影响曝光图形的精确性，同时减少划伤版面的风险，延长掩模版的使用寿命。

掩模版保护膜一般由硝化纤维组成，如图2所示，该透明保护膜粘附在框架上，由框架来支承，与掩模版之间是中空的。

当贴完保护膜的掩模版出现异常情况时，则需要撬膜重新处理，当前业内撬膜的一般方式是直接撬膜，操作过程中，由于胶的粘附力极大，容易把掩模版的铬层粘起，形成缺陷导致掩模版的报废。

实用新型内容

本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置，降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率，为了实现上述目的，采用以下技术方案：包括：下平台，掩模版安装于下平台上；掩模温控模块，该模块设置于下平台内，用于对掩模版加热；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；上盖板，所述上盖板与下平台轴连接；膜框冷却模块，位于上盖板内且对应膜框位置，用于对膜框的降温；连接件，设置在上盖板上，连接上盖板与膜框，配合掩模版固定装置用于将膜框与掩模版分离。

优选的，上盖板的下表面开设一凹槽，上盖板的侧面开设有连通凹槽的通孔，连接件一端穿过该通孔后旋入该凹槽内。

优选的，膜框冷却模块采用液体冷却方式，包括两路液体管路，液体管路布置在上盖板内的凹槽槽壁内，连接件位于所述两路液体管路的间隙内。

优选的，所述连接件为销钉，其小头部分穿入凹槽内。

优选的，所述连接件为弹簧锁体，所述弹簧锁体包括外壳、销钉以及弹簧，外壳内部安装有弹簧底座，弹簧底座上安装有弹簧，弹簧套设在销钉上，销钉前端穿过外壳

优选的，下平台上开设有凹槽，掩模版放置在该凹槽内。

优选的，膜框的侧面设置有用于插接连接件的插孔，插孔与两路液体管路错开。

优选的，掩模版固定装置固定在下平台上，固定装置设置有三个，两个为固定式、一个为活动式，活动式掩模版固定装置采用压片式固定装置，压片一端为固定端、另一端为自由端，固定端通过销钉安装在下平台上并可围绕销钉Ⅱ旋转，自由端压制在掩模版上。

优选的，掩模温控模块采用电加热。

本实用新型的有益效果：利用掩模版加热模块对掩模版进行加热，在通过高温将掩模版上的胶融化的同时，并利用液体冷却给于膜框低温特性，增强保护膜与膜框之间的胶的粘性，从而使去除保护膜过程中，既降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率。

附图说明

图1为本专利申请的结构示意图；

图2为现有的关于带有保护膜的掩模版的结构示意图；

图3为关于弹簧锁体的结构示意图；

图4为弹簧锁体与插孔配合工作时的示意图；

图5为销钉Ⅱ的结构示意图，其用于连接掩膜版固定装置与下平台；