[实用新型]晶圆片翻转贴片机构

说明书

本实用新型涉及一种晶圆片翻转贴片机构，包括移动导轨、平移动力件、滑块、顶升动力件、升降座、翻转动力件、翻板及吸盘，所述滑块设置在移动导轨上，所述平移动力件可驱动滑块沿平移导轨移动，所述顶升动力件设置在滑块上，顶升动力件可驱动升降座升降，所述翻板设置在升降座上并与翻转动力件连接，翻转动力件可驱动翻板绕升降座翻转，所述吸盘固定在翻板上。该晶圆片翻转贴片机构能够实现晶圆片的翻转，并将晶圆片贴合在陶瓷盘上，其贴片效率较高，贴片均匀度高、牢固性好，并可防止晶圆片被压坏，从而保证了产品的一致性。

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片翻转贴片机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶(涂蜡)、贴片、铲片、存放等。晶圆片在贴片时需要进行翻转，使具有胶的一面贴合在陶瓷盘上，现有的翻转机构结构都较为复杂，其运作方式较为繁琐，从而导致贴片效率较低。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种结构简单、贴片效率高、贴片均匀度高的晶圆片翻转贴片机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片翻转贴片机构，包括移动导轨、平移动力件、滑块、顶升动力件、升降座、翻转动力件、翻板及吸盘，所述滑块设置在移动导轨上，所述平移动力件可驱动滑块沿平移导轨移动，所述顶升动力件设置在滑块上，顶升动力件可驱动升降座升降，所述翻板设置在升降座上并与翻转动力件连接，翻转动力件可驱动翻板绕升降座翻转，所述吸盘固定在翻板上。

为了便于翻板翻转，所述升降座上设置有转轴，所述转轴与翻转动力件连接，所述翻板一端固定在转轴上。

为了保证贴片的均匀度，所述吸盘外套设有弹簧，吸盘与翻板之间弹性连接，吸盘可实现伸缩，避免压坏晶圆片，并防止晶圆片与陶瓷盘贴合不牢固。

由于翻转较长，为了将其支撑，所述升降座上设置有可支撑翻板的支撑柱。

本实用新型的有益效果是：该晶圆片翻转贴片机构能够实现晶圆片的翻转，并将晶圆片贴合在陶瓷盘上，其贴片效率较高，贴片均匀度高、牢固性好，并可防止晶圆片被压坏，从而保证了产品的一致性。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆片翻转贴片机构的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示的一种晶圆片翻转贴片机构，包括移动导轨1、平移动力件2、滑块9、顶升动力件7、升降座6、翻转动力件5、翻板3及吸盘4，所述滑块9设置在移动导轨1上，所述平移动力件2可驱动滑块9沿平移导轨1移动，所述顶升动力件7固定在滑块9顶端，顶升动力件7可驱动升降座6升降，所述翻板3设置在升降座6上并通过转轴8与翻转动力件5连接，翻转动力件5可驱动翻板3绕转轴8实现180度翻转，升降座6上设置有可支撑翻板3的支撑柱11，所述吸盘4设置在翻板3远离转轴8的一端，吸盘4外套设有弹簧10，吸盘4可实现伸缩。

加工时，机械手将晶圆片送至吸盘4上，吸盘4将晶圆片吸附，此时涂有胶的一面朝上，平移动力件2驱动滑块9及滑块9上的各机构移动至固定位置，翻转动力件5即可驱动翻板3、吸盘4及晶圆片翻转180度，从而将晶圆片贴合在陶瓷盘上，贴合后吸盘4受到压力，则弹簧收缩，避免施力过大压坏晶圆片。