[实用新型]一种清洗光罩的装置

说明书

本实用新型涉及光罩技术领域，具体为一种清洗光罩的装置，包括底座，底座的顶部设有清洗室，清洗室的底部中心处竖直开设有第一通孔，清洗室的底部且位于靠近第一通孔的位置由内向外设有若干个第一环形刷，清洗室的顶部设有顶盖，顶盖的底部开设有第二凹槽，第二凹槽的底部中心处设有环形圆柱槽，第二凹槽的底部且位于靠近环形圆柱槽的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷。该清洗光罩的装置，通过第一固定盘和第二固定盘可以与光罩起到互相固定的作用，通过第一环形刷和第二环形刷可以将光罩两面同时进行清洗，通过进水接口可以在清洗过程中一直注入干净的纯水，通过设有的出水接口可以将清洗后的水放出，提高了对光罩的清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及光罩技术领域，具体为一种清洗光罩的装置。

背景技术

光罩在使用之前需要进行清洗过程，光罩在光罩清洗机内清洗主要分为正面清洗和背面清洗，现有光罩清洗机的清洗效率不高，而且在翻转时，容易将洗过的液体溅射到清洗好的一面，鉴于此，我们提出一种清洗光罩的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗光罩的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种清洗光罩的装置，包括底座，所述底座表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的底部设有电机，所述底座的顶部设有清洗室，所述清洗室底部靠近内壁的位置竖直开设有出水口，所述出水口的底部设有出水接口，所述清洗室的底部中心处竖直开设有第一通孔，所述清洗室的底部且位于靠近所述第一通孔的位置由内向外设有若干个第一环形刷，所述清洗室的顶部设有顶盖，所述顶盖的底部开设有第二凹槽，所述第二凹槽底部靠近内壁的位置竖直开设有进水口，所述进水口的顶部设有进水接口，所述第二凹槽的底部中心处设有环形圆柱槽，所述第二凹槽的底部且位于靠近所述环形圆柱槽的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷，所述第一环形刷和所述第二环形刷之间设有对称分布的第一固定盘和第二固定盘。

优选的，所述第一固定盘的表面中心处设有第二通孔，所述第一固定盘的表面开设有若干个以环形阵列排布的第三通孔，每个所述第三通孔的内壁均设有环形限位块，所述第二固定盘与所述第一固定盘为相同规格的结构。

优选的，所述清洗室的底部中心处设有机械密封块，所述电机的输出轴依次穿过所述机械密封块、所述清洗室、所述第一固定盘和所述第二固定盘且与所述环形圆柱槽转动连接。

优选的，所述第一固定盘与所述电机的输出轴固定连接。

优选的，所述第一环形刷的位置和所述第二环形刷的位置相对应且数量相同，所述第一环形刷和所述第二环形刷为相同规格的结构。

优选的，所述第二凹槽的内壁高度为所述清洗室的圆周外侧高度的一半。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该清洗光罩的装置，通过设有的第一固定盘和第二固定盘可以与光罩起到互相固定的作用，通过设有的第一环形刷和第二环形刷可以将光罩两面同时进行清洗，通过设有的进水接口可以在清洗过程中一直注入干净的纯水，通过设有的出水接口可以将清洗后的水放出，提高了对光罩的清洗效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的整体分解结构示意图；

图3为本实用新型中的清洗室结构示意图；

图4为本实用新型中的清洗室和电机结构示意图；

图5为本实用新型中的第一固定盘结构示意图；

图6为本实用新型中的顶盖结构示意图；

图7为本实用新型中的剖面结构示意图；