[实用新型]一种连续真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201921273611.8 申请日: 2019-08-08
公开(公告)号: CN210287492U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 刘林兴 申请(专利权)人: 苏盛纳米涂层科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215156 江苏省苏州市吴中区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 连续 真空镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种连续真空镀膜装置,包括真空腔体(1),其特征在于:所述真空腔体(1)的后端外表面固定连接有辅助抽气系统(3),所述真空腔体(1)的一侧外表面固定连接有蒸发系统(4),所述真空腔体(1)的另一侧设置有电力控制系统(2),所述电力控制系统(2)的一侧固定连接有工作台(8),所述工作台(8)的上端外表面固定连接有镀液中和反应制取装置(7),所述真空腔体(1)的前端外表面固定连接有温度监测显示机构(5),所述真空腔体(1)的下端外表面固定连接有底座(6)。

2.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述温度监测显示机构(5)由电源模块(51)、显示屏(52)、单片机模块(53)、导线(54)、温度传感器(55)、测温模块主体(56)组成,所述电源模块(51)、单片机模块(53)、温度传感器(55)位于测温模块主体(56)的前端外表面,所述导线(54)位于测温模块主体(56)的内部,所述显示屏(52)位于单片机模块(53)的一侧外表面并与单片机模块(53)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述镀液中和反应制取装置(7)由镀液反应盒(71)、卡扣下盖(72)、卡扣上盖(73)、活动盖(74)、防护工具置放箱(75)、包装中和箱(76)组成,所述镀液反应盒(71)的上端外表面固定连接有活动盖(74),所述活动盖(74)的一侧设置有卡扣上盖(73),所述镀液反应盒(71)的前端外表面固定连接有卡扣下盖(72),所述镀液反应盒(71)的一侧外表面固定连接有防护工具置放箱(75),所述包装中和箱(76)位于防护工具置放箱(75)的一侧。

4.根据权利要求2所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述电源模块(51)、单片机模块(53)、温度传感器(55)之间通过导线(54)电性连接,所述电源模块(51)、单片机模块(53)、温度传感器(55)与测温模块主体(56)之间通过焊笔点焊固定连接,所述导线(54)与测温模块主体(56)之间通过固定槽固定连接,所述显示屏(52)与单片机模块(53)之间通过直插槽为可拆卸连接。

5.根据权利要求3所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述镀液反应盒(71)与活动盖(74)之间通过合页活动连接,所述卡扣上盖(73)与活动盖(74)、卡扣下盖(72)与镀液反应盒(71)之间均通过强力胶固定连接,所述防护工具置放箱(75)与镀液反应盒(71)之间通过卡槽为可拆卸连接,所述包装中和箱(76)与防护工具置放箱(75)之间通过卡扣为可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述辅助抽气系统(3)与真空腔体(1)之间通过固定块固定连接,所述蒸发系统(4)与真空腔体(1)之间通过旋转轴活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种连续真空镀膜装置,其特征在于:所述电力控制系统(2)的内部设置有电机,所述底座(6)与真空腔体(1)之间通过螺栓固定连接。

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