[实用新型]一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉

权利要求书

1.一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，其特征在于，该反应炉包括：反应室（1）；设置于反应室（1）前端、通过管路与反应室（1）并联连接的液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）；设置于反应室（1）后端、通过管路与反应室（1）连接的蝶阀（4）和连接蝶阀（4）的真空泵（5）；其中，液态前驱体钢瓶（7）上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室（1），与反应室（1）连接的管路上设有双通阀（8），所述液态前驱体钢瓶（7）设于水浴或油浴装置（6）中；气体钢瓶（9）通过管路连接反应室（1），在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀（4）与反应室（1）之间设有压力表（2），蝶阀（4）两端并联有针阀（3）。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积反应炉，其特征在于，所述管路为气体金属管路。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积反应炉，其特征在于，所述液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）分别设置为一个或数个。