[实用新型]一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统有效
| 申请号: | 201921195513.7 | 申请日: | 2019-07-28 |
| 公开(公告)号: | CN210980946U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
| 发明(设计)人: | 张勇;孙国标;何於 | 申请(专利权)人: | 江苏壹度科技股份有限公司 |
| 主分类号: | F28D21/00 | 分类号: | F28D21/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 212400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 盘片 专用 纯水 pcw 系统 | ||
本实用新型涉及半导体晶盘片冷却设备技术领域,具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构,支撑机构包括两个矩形框,两个矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆,第一横杆的下方设有第二横杆,每个矩形框内部中心处设有加固杆,两个加固杆之间设有架杆,第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置,主管道装置之间安装若干辅管道,主管道装置和辅管道上安装有若干固定装置。本实用新型通过支撑机构,用于支撑主管道装置和辅管道,并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上,方便后续冷却使用,另一方面,主管道装置和固定装置可拆卸,为后续维修或保养提供便利,有利于提高市场竞争力。
技术领域
本实用新型涉及半导体晶盘片冷却设备技术领域,具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体的导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,为了方便使用半导体,常将半导体制成晶盘片,在制作过程中需PCW系统降低温度,但PCW系统需定期维修或保养保障其较好的冷却效果,由于PCW系统不便拆卸,不利于后续维修或保养,鉴于此,我们提出一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,以解决上述背景技术中提出的PCW系统不便拆卸,不利于后续维修或保养的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统,包括支撑机构,所述支撑机构包括两个矩形框,两个所述矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆,所述第一横杆的下方设有第二横杆,每个所述矩形框内部中心处设有加固杆,两个所述加固杆之间设有架杆,所述第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置,所述主管道装置包括第一条形管,所述第一条形管的两端安装有弯管接头,所述弯管接头的端部设有第二条形管,所述主管道装置之间安装若干辅管道,所述主管道装置和所述辅管道上安装有若干固定装置,所述固定装置包括弧形扣,所述弧形扣的两侧对称开设有螺纹孔,所述螺纹孔内设有螺钉,所述支撑机构前后两侧对称安装有储水桶,所述储水桶上方安装有桶盖,所述储水桶与端部的所述主管道装置之间安装有连接管。
优选的,所述第二条形管、所述辅管道和所述连接管上均安装有阀门。
优选的,所述第二条形管和所述辅管道的端部均安装有软管,所述主管道装置和所述辅管道通过所述软管首尾相连。
优选的,所述第一条形管与所述弯管接头螺纹连接。
优选的,所述储水桶顶部设有安装板,所述安装板上设有垫片。
优选的,所述桶盖上安装有压力表。
优选的,所述桶盖的内径与所述储水桶内径相适配。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型通过设计的支撑机构,用于支撑主管道装置和辅管道,并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上,保证支撑主管道装置和辅管道的稳定性,方便后续冷却使用,另一方面,设计的主管道装置和固定装置可拆卸,为后续维修或保养提供便利,有利于提高市场竞争力。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型中支撑机构的结构示意图;
图3为本实用新型中主管道装置的爆炸结构示意图;
图4为本实用新型中储水桶的结构示意图;
图5为本实用新型中固定装置的结构示意图。
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