[实用新型]一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统

权利要求书

1.一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统，包括支撑机构(1)，其特征在于：所述支撑机构(1)包括两个矩形框(10)，两个所述矩形框(10)左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆(11)，所述第一横杆(11)的下方设有第二横杆(12)，每个所述矩形框(10)内部中心处设有加固杆(13)，两个所述加固杆(13)之间设有架杆(14)，所述第一横杆(11)上靠近两端的位置安装有若干主管道装置(2)，所述主管道装置(2)包括第一条形管(20)，所述第一条形管(20)的两端安装有弯管接头(21)，所述弯管接头(21)的端部设有第二条形管(22)，所述主管道装置(2)之间安装若干辅管道(4)，所述主管道装置(2)和所述辅管道(4)上安装有若干固定装置(9)，所述固定装置(9)包括弧形扣(90)，所述弧形扣(90)的两侧对称开设有螺纹孔(901)，所述螺纹孔(901)内设有螺钉(91)，所述支撑机构(1)前后两侧对称安装有储水桶(7)，所述储水桶(7)上方安装有桶盖(8)，所述储水桶(7)与端部的所述主管道装置(2)之间安装有连接管(6)。

2.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述第二条形管(22)、所述辅管道(4)和所述连接管(6)上均安装有阀门(3)。

3.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述第二条形管(22)和所述辅管道(4)的端部均安装有软管(5)，所述主管道装置(2)和所述辅管道(4)通过所述软管(5)首尾相连。

4.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述第一条形管(20)与所述弯管接头(21)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述储水桶(7)顶部设有安装板(70)，所述安装板(70)上设有垫片(71)。

6.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述桶盖(8)上安装有压力表(80)。

7.根据权利要求1所述的半导体晶盘片专用纯水PCW系统，其特征在于：所述桶盖(8)的内径与所述储水桶(7)内径相适配。