[实用新型]靶材浸润处理装置

权利要求书

1.一种靶材浸润处理装置，其特征在于，包括：基座组件(100)和滚轮组件(200)；

其中，所述滚轮组件(200)包括连接轴(210)和传动连接于所述连接轴(210)上的滚轮(220)，所述基座组件(100)套设于所述连接轴(210)上，并能够沿所述连接轴(210)的轴向移动；

所述基座组件(100)上安装有用于靶材浸润处理的超声波发生器(300)。

2.根据权利要求1所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述基座组件(100)包括基座主体(110)和摊手(120)；

所述摊手(120)可拆卸地连接于所述基座主体(110)。

3.根据权利要求2所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述基座主体(110)上表面开设有卡槽，所述摊手(120)的一端部设置有用于与所述卡槽实现卡接的卡头(123)。

4.根据权利要求3所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述基座主体(110)上表面开设有与所述连接轴(210)的轴向平行的第一卡槽(111)，以及与所述连接轴(210)的轴向垂直的第二卡槽(112)；

相应的，所述摊手(120)设置为两组，两组所述摊手(120)上的所述卡头(123)与所述第一卡槽(111)及所述第二卡槽(112)分别对应卡接。

5.根据权利要求3所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述摊手(120)包括长条板(121)，所述长条板(121)的第一端弯折形成所述卡头(123)，第二端连接有柱状的把手(122)。

6.根据权利要求2-5任一项所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述摊手(120)采用轻质的有机塑料材质。

7.根据权利要求2所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述基座主体(110)上开设有用于穿设所述连接轴(210)的通孔(113)；

所述连接轴(210)与所述通孔(113)之间连接有套筒。

8.根据权利要求2所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述基座主体(110)与所述超声波发生器(300)之间通过可调节两者之间相对位置的调节组件(400)连接。

9.根据权利要求1所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述超声波发生器(300)包括超声波探头；

所述超声波探头包括有用于冷却的水道(310)和气道(320)，所述水道(310)的进口及出口用于与外界冷水循环装置连接，所述气道(320)的进口及出口用于与外界冷气循环装置连接。

10.根据权利要求1所述的靶材浸润处理装置，其特征在于，所述连接轴(210)的两端分别设置有所述滚轮(220)，且所述滚轮(220)与所述连接轴(210)之间通过轴承连接。