[实用新型]一种LED芯片点测机有效
| 申请号: | 201921095494.0 | 申请日: | 2019-07-15 |
| 公开(公告)号: | CN209266358U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
| 发明(设计)人: | 林永祥 | 申请(专利权)人: | 琉明光电(常州)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/683 |
| 代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 朱丽莎 |
| 地址: | 213161 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 外接盘 吸盘 第一空腔 点测机 内盘体 上表面 盘体 通孔 本实用新型 接气口 连通 设备技术领域 可拆卸连接 可拆卸的 平齐设置 外周面 硅片 内盘 吸附 拆卸 体内 | ||
本实用新型涉及LED芯片检测设备技术领域,尤其是涉及一种LED芯片点测机,包括机架及设置在机架上的吸盘,所述吸盘包括外接盘和内盘体,所述内盘体上表面开设有若干第一通孔,所述内盘体内开设有第一空腔体,所述第一通孔与第一空腔体连通,所述内盘体上设置有接气口,所述接气口的一端与第一空腔体连通,所述外接盘可拆卸连接在内盘体上并且上表面相互平齐设置,所述外接盘上表面开设有若干第二通孔,本实用新型一种LED芯片点测机在使用时,通过在内盘体外周面设置可拆卸的外接盘,在需要使用时将外接盘安装在内盘体上即可,在不需要使用时将外接盘拆卸即可,改变了吸盘的吸附面积,也就适用于不同型号尺寸的硅片使用。
技术领域
本实用新型涉及LED芯片检测设备技术领域,尤其是涉及一种LED芯片点测机。
背景技术
随着科技的高速发展,LED芯片体积越做越小而市场需求越来越大,目前正被迅速普及的LED照明灯具,其发光主体就是形形色色的LED芯片。产品的生产离不开检测,大规模生产的芯片只能依靠全自动点测机进行检测。
芯片检测工序,就是先对芯片通电,然后用点测机测出芯片各种电性参数或光学参数。对芯片通电的方法是用探针针尖抵住芯片的电极,然后给探针接上电源。芯片电极和探针针尖之间的接触压力的控制是测试的重要工序,接触压力小会导致接触电阻大、接触不良以致误检;接触压力大又会将电极压出凹痕从而影响芯片外观和性能。
芯片规格不同,使用硅片的尺寸也不同,现有芯片点测机通过固定尺寸的吸盘将硅片吸附住,不能够适用于不同型号尺寸的硅片,需要更换吸盘,由于吸盘比较精密,其安装精度也比较高,这样就降低了点测机的工作效率。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决芯片规格不同,使用硅片的尺寸也不同,现有芯片点测机通过固定尺寸的吸盘将硅片吸附住,不能够适用于不同型号尺寸的硅片,需要更换吸盘,由于吸盘比较精密,其安装精度也比较高,这样就降低了点测机的工作效率的问题,现提供了一种LED芯片点测机。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种LED芯片点测机,包括机架及设置在机架上的吸盘,所述吸盘包括外接盘和内盘体,所述内盘体上表面开设有若干第一通孔,所述内盘体内开设有第一空腔体,所述第一通孔与第一空腔体连通,所述内盘体上设置有接气口,所述接气口的一端与第一空腔体连通,所述外接盘可拆卸连接在内盘体上并且上表面相互平齐设置,所述外接盘上表面开设有若干第二通孔,所述外接盘上开设有第二空腔体,所述第二通孔与第二空腔体连通,所述内盘体上开设有第三通孔,所述第三通孔与第一空腔体之间设置有相互连通的第四通孔,所述第三通孔内滑动设置有堵头,所述堵头与第三通孔之间设置有弹簧,在所述弹簧的作用下,所述堵头将第三通孔和第四通孔相互隔断,所述外接盘靠近第三通孔的一端设置有外接管口,所述外接管口与第二空腔体连通,所述外接管口插设在第三通孔内。通过在内盘体外周面设置可拆卸的外接盘,在需要使用时将外接盘安装在内盘体上即可,在不需要使用时将外接盘拆卸即可,改变了吸盘的吸附面积,也就适用于不同型号尺寸的硅片使用。
进一步地,所述第二通孔围绕第一通孔设置。
进一步地,所述外接盘上开设有滑槽,所述内盘体沿其径向开设有与与滑槽相匹配的滑块,所述滑块滑动设置在滑槽内。
为了能够便于外接盘的拆卸,进一步地,所述外接盘通过螺钉固定在内盘体上。通过螺钉实现将外接盘在内盘体上固定,这样的安装方式结构简单,也便于加工和后期维护。
本实用新型的有益效果是:本实用新型一种LED芯片点测机在使用时,通过在内盘体外周面设置可拆卸的外接盘,在需要使用时将外接盘安装在内盘体上即可,在不需要使用时将外接盘拆卸即可,改变了吸盘的吸附面积,也就适用于不同型号尺寸的硅片使用,避免了现有芯片点测机通过固定尺寸的吸盘将硅片吸附住,不能够适用于不同型号尺寸的硅片,需要更换吸盘,由于吸盘比较精密,其安装精度也比较高,这样就降低了点测机的工作效率的问题。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





