[实用新型]一种半导体设备用密封性能检验机构

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，该半导体设备用密封性能检验机构，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率，整体结构合理，使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。

技术领域

本实用新型涉及一种密封性能检验机构，特别涉及一种半导体设备用密封性能检验机构，属于半导体设备用波纹管密封性能检验技术领域。

背景技术

半导体镀膜设备中常用波纹管来实现某些部件的升降功能，同时实现大气与真空环境的互换，所以必须保证波纹管的密封性能满足设备的要求，另外，在波纹管安装到设备之前，如果不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，如此会增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间等问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种半导体设备用密封性能检验机构，通过设有对接板、密封层、检测仪和法兰等有效的解决了在波纹管安装到设备之前，不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间等问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，所述底座顶端相远离的两侧分别固定连接有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板相对第二侧板的一侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离第一侧板的一端固定连接有对接板，所述对接板侧壁上相远离的两端连接有螺栓，所述螺栓上连接有螺母，所述对接板与第二侧板之间设有波纹管，所述第二侧板远离波纹管的一侧固定连接有检测仪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述波纹管相远离的两端均固定连接有法兰，所述法兰，所述法兰上开设有若干个螺纹通槽，所述法兰的中心位置固定连接有密封层。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述波纹管两端法兰分别与对接板和第二侧板对应，所述对接板和第二侧板与法兰的螺纹通槽对应处均开设有螺纹槽，所述螺栓穿插过对接板的螺纹槽至对应的法兰的螺纹通槽与其螺纹连接且螺母螺纹连接在螺栓的另一端上，所述螺栓穿插过对应第二侧板的法兰的螺纹通槽至第二侧板上的螺纹槽且与其螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二侧板的侧壁上开设有通风口且与法兰上的密封层相对应，所述检测仪的输出端固定连接在第二侧板的通风口，所述检测仪与第二侧板通风口连接处设有橡胶密封套。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述密封层采用橡胶材质制成。

本实用新型所达到的有益效果是：

1、该半导体设备用密封性能检验机构，结构合理，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用；

2、该半导体设备用密封性能检验机构，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性；

3、该半导体设备用密封性能检验机构，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率。

整体使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。

附图说明