[实用新型]一种半导体设备用密封性能检验机构

权利要求书

1.一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)顶端相远离的两侧分别固定连接有第一侧板(2)和第二侧板(3)，所述第一侧板(2)相对第二侧板(3)的一侧固定连接有电动伸缩杆(4)，所述电动伸缩杆(4)远离第一侧板(2)的一端固定连接有对接板(5)，所述对接板(5)侧壁上相远离的两端连接有螺栓(6)，所述螺栓(6)上连接有螺母(7)，所述对接板(5)与第二侧板(3)之间设有波纹管(8)，所述第二侧板(3)远离波纹管(8)的一侧固定连接有检测仪(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述波纹管(8)相远离的两端均固定连接有法兰(81)，所述法兰(81)，所述法兰(81)上开设有若干个螺纹通槽(82)，所述法兰(81)的中心位置固定连接有密封层(83)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述波纹管(8)两端法兰(81)分别与对接板(5)和第二侧板(3)对应，所述对接板(5)和第二侧板(3)与法兰(81)的螺纹通槽(82)对应处均开设有螺纹槽，所述螺栓(6)穿插过对接板(5)的螺纹槽至对应的法兰(81)的螺纹通槽(82)与其螺纹连接且螺母(7)螺纹连接在螺栓(6)的另一端上，所述螺栓(6)穿插过对应第二侧板(3)的法兰(81)的螺纹通槽(82)至第二侧板(3)上的螺纹槽且与其螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述第二侧板(3)的侧壁上开设有通风口且与法兰(81)上的密封层(83)相对应，所述检测仪(9)的输出端固定连接在第二侧板(3)的通风口，所述检测仪(9)与第二侧板(3)通风口连接处设有橡胶密封套。

5.根据权利要求2所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述密封层(83)采用橡胶材质制成。