[实用新型]过滤设备

说明书

本实用新型提供了一种过滤设备，包括：相互连通的第一过滤装置和第二过滤装置，第一过滤装置和第二过滤装置均包括筒体、冷却装置、滤芯组件、进气口和排气口，至少部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现有技术中的过滤设备难以过滤含磷杂质的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，具体而言，涉及一种过滤设备。

背景技术

Metal-organic Chemical Vapor Deposition(金属有机化合物化学气相沉淀，简称MOCVD) 设备尾气中含有大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物。若不阻止这些磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物不阻止，这些有毒有害的物质会排放到大气中，会造成环境污染。同时这些有毒有害的物质中的固态物质会堵塞真空泵。

现有技术的过滤设备中，通过设置单筒结构来对含磷杂质进行过滤，过滤的过程中，大分子颗粒磷难以过滤，导致过滤效果较差，会堵塞真空泵，使得真空泵的容易发生故障，对真空泵使用寿命造成严重的影响，进而影响到整个真空系统，同时对环境造成污染。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种过滤设备，以解决现有技术中的过滤设备难以过滤含磷杂质的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种过滤设备，包括：相互连通的第一过滤装置和第二过滤装置，第一过滤装置和第二过滤装置均包括筒体、冷却装置、滤芯组件、进气口和排气口，至少部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。

进一步地，冷却装置包括壳体和冷却管路，冷却管路环绕在壳体外壁上，冷却管路与筒体的内壁之间具有间隔，滤芯组件设置在壳体内，进气口设置在筒体的侧壁上，排气口设置在壳体的顶壁上。

进一步地，壳体包括上壳体和下壳体，冷却管路环绕在下壳体的外侧，下壳体的底部为开放端，过滤设备还包括底壳，底壳位于筒体的底部，底壳与下壳体之间具有间隔，上壳体与筒体的一端可拆卸地连接，底壳与筒体的另一端可拆卸地连接。

进一步地，滤芯组件包括滤芯组、第一板体和第二板体，第一板体和第二板体分别位于滤芯组的两端，滤芯组、第一板体和第二板体通过紧固件连接在一起。

进一步地，滤芯组的数量为多个，多个滤芯组包括沿筒体的中心轴线的方向设置，多个滤芯组中的相邻两个滤芯组之间连接有第三板体，每个滤芯组包括多个滤芯。

进一步地，过滤设备还包括防护外罩，防护外罩罩设在第一过滤装置和第二过滤装置的外侧，过滤设备还包括设置在防护外罩外部的抽气装置，防护外罩的内部空腔与抽气装置连通。

进一步地，防护外罩包括第一罩体和第二罩体，第一罩体相对于第二罩体可枢转地连接。

进一步地，第一过滤装置的进气口与第二过滤装置的进气口相连通，第一过滤装置的排气口与第二过滤装置的排气口相连通，或者，第一过滤装置的排气口与第二过滤装置的进气口相连通。

进一步地，过滤设备还包括托车，托车支撑第一过滤装置和第二过滤装置，托车包括托板、托架和支撑轮，托架设置在托板上，支撑轮设置在托板的底部，第一过滤装置和第二过滤装置可拆卸地连接在托板上。

进一步地，托板上设置有减震地脚。