[实用新型]一种旋转滑动式腔门机构及真空腔体

权利要求书

1.一种旋转滑动式腔门机构，其特征在于，包括安装框架(21)、滑动安装在安装框架上的腔门(22)以及固定在安装框架上并驱动腔门滑动的驱动机构A(23)，腔门与腔体本体进出口相适配，安装框架的一侧转动连接在腔体本体进出口一侧外部，并由驱动机构B(24)驱动旋转，使腔门与腔体本体进出口紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的旋转滑动式腔门机构，其特征在于，安装框架包括左右平行分布的两根滑轨(211)、连接两根滑轨下端的连接杆A(212)以及转动安装在连接杆A两端的轴承座(213)，两根滑轨分别平行设置在腔体本体进出口左右两侧，两滑轨之间的距离大于腔体本体进出口左右两侧之间的距离，滑轨的长度不小于腔门在滑轨方向长度的两倍。

3.根据权利要求2所述的旋转滑动式腔门机构，其特征在于，两侧滑轨的上端均设有限位块，或者，两侧滑轨的上端通过连接杆B(214)固定连接。

4.根据权利要求2或3所述的旋转滑动式腔门机构，其特征在于，驱动机构A为气缸，其气缸轴端部与腔门外侧设置的连接件A(25)固定连接，腔门内侧两边缘均设有与滑轨相配合的滑块(27)；

和/或,驱动机构B为气缸，其气缸轴端部与滑轨表面设置的连接件B(26)连接。

5.一种真空腔体，其特征在于，包括腔体本体(1)以及设置在腔体本体进出口的腔门机构(2)，腔门机构为权利要求1-4任一所述的旋转滑动式腔门机构；腔体本体进出口边缘设有密封圈(11)，腔门旋转至与腔体本体进出口相对应的位置处并与密封圈紧密贴合时，腔体本体内部与腔门围成真空腔室。

6.根据权利要求5所述的真空腔体，其特征在于，腔门机构中的驱动机构B通过固定安装板(12)固定在腔体本体的外壁，驱动机构B为气缸，其气缸轴端部与滑轨内侧设置的连接件B(26)连接。

7.一种真空腔体，其特征在于，包括倾斜固定在支撑架(4)上的腔体本体(1)以及分别设置在腔体本体进口和出口的前腔门机构和后腔门机构(3)；腔体本体进口和出口相对设置，且进口位于上侧、出口位于下侧；前腔门机构为权利要求1-4任一所述的旋转滑动式腔门机构；后腔门机构为权利要求1-4任一所述的旋转滑动式腔门机构，或者，后腔门机构包括铰接在腔体本体出口一侧的后腔门(31)以及驱动后腔门转动的驱动机构C(32),后腔门与出口相适配；腔体本体进口和出口边缘均设有密封圈(11)，两腔门与密封圈贴合时，腔体本体内部与两腔门围成真空腔室。

8.根据权利要求7所述的真空腔体，其特征在于，后腔门的上端铰接在腔体本体出口上侧；驱动机构C为气缸，其气缸轴端部与后腔门外侧设置的连接件C(33)铰接，其气缸本体尾部与真空腔体外侧的横梁(6)铰接。

9.根据权利要求7所述的真空腔体，其特征在于，腔体本体下方的支撑架内部铺设输送装置(5)。

10.根据权利要求7所述的真空腔体，其特征在于，支撑架(4)包括水平方向的底部支撑框架(41)以及竖直固定在底部支撑框架上的支撑柱(42)，支撑柱用于支撑腔体本体及腔门机构。