[实用新型]一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器

权利要求书

1.一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，其组成包括：多通管，其特征在于：还包括螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，所述多通管、所述螺旋状气体混合管、所述导流装置、所述反应装置依次连接，在所述反应装置后部也连接有一个所述螺旋状气体混合管，所述气体均匀分布板设置在所述反应装置的前部，所述导流装置位于所述气体均匀分布板的正前方，所述导流装置由导流罩和导流块组成，所述导流块为锥形结构，所述导流块的尖端位于所述螺旋状气体混合管的出气口处，所述气体均匀分布板上设有规则排列的进气孔。

2.根据权利要求1所述的用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，其特征在于：所述多通管为多通道进气管并与所述螺旋状气体混合管螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，其特征在于：所述导流罩内曲面与所述导流块外曲面相互配合，所述导流罩前侧中部设有与所述螺旋状气体混合管连接的接口，所述导流块安装在所述气体均匀分布板上，所述导流块的前端位于所述接口的正后方。