[实用新型]一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统

权利要求书

1.一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：包括

一个PECVD等离子设备真空仓体(1)，该PECVD等离子设备真空仓体(1)的两个侧壁面上设置有多个接口；

两个第一药水蒸发罐(2)，均分别通过两条第一药水管道(201)相接于PECVD等离子设备真空仓体(1)的两个侧壁面上的两个第一接口(101)；

一个第二药水蒸发罐(3)，该第二药水蒸发罐(3)通过两条第二药水管道(301)相接于PECVD等离子设备真空仓体(1)的两个侧壁面上的两个第二接口(102)；

一真空泵组(4)，该真空泵组(4)通过两条抽真空管路(401)分别相接于PECVD等离子设备真空仓体(1)的第三接口(103)；该两条抽真空管路(401)分别与第三接口(103)相接位置设有真空角阀(402)，且两条抽真空管路(401)汇合成总管相接真空泵组(4)，该总管上设置有碟阀(403)。

2.根据权利要求1所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：多个接口分为两组，左右对称地分布在PECVD等离子设备真空仓体(1)的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一接口(101)位于下侧，第二接口(102)位于上侧，第三接口(103)位于第一接口(101)与第二接口(102)之间。

4.根据权利要求2所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一药水蒸发罐(2)与第二药水蒸发罐(3)之间有高度差，该第一药水蒸发罐(2)低于第二药水蒸发罐(3)。

5.根据权利要求4所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一药水蒸发罐(2)为液态反应物汽化罐，所述第一药水蒸发罐(2)为固态原料熔融后汽化或直接升华罐。

6.根据权利要求5所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一药水蒸发罐(2)和第二药水蒸发罐(3)均分别设有加热保温装置。

7.根据权利要求1所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一药水蒸发罐(2)中，其用于与第一药水管道(201)相接的气化出口位于第一药水蒸发罐(2)的上侧；所述第二药水蒸发罐(3)中，其用于与第二药水管道(301)相接的气化出口位于第二药水蒸发罐(3)的上侧。

8.根据权利要求7所述的一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，其特征在于：所述第一药水管道(201)和第二药水管道(301)上均设置流量控制阀(302)。