[实用新型]一种辅助阳极装置

权利要求书

1.一种辅助阳极装置，其特征在于：包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；所述阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；所述辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；所述支撑座和锁紧件为绝缘材料；所述支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；所述支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；所述支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔；所述冷却水面板放置在支撑座上端；所述冷却水面板上具有进水口和出水口；所述冷却水管道安装在冷却水面板下方且穿过第二圆孔；所述接线柱固定在冷却水面板上端；所述锁紧件顶压在冷却水面板上端面的周边且通过螺丝锁紧在阴极板上。

2.根据权利要求1所述的一种辅助阳极装置，其特征在于：所述进水口设置两个，出水口设置一个；两个所述进水口对称设置在出水口两侧；所述冷却水管道包括外管、内管、支撑架和底板；所述外管安装在冷却水面板下方且与两个所述进水口连通；所述内管设置在外管内且固定在面板的出水口下方；所述内管的底部与外管连通；所述支撑架为“十”字型固定在内管下端；所述底板固定在外管底部。

3.根据权利要求2所述的一种辅助阳极装置，其特征在于：所述外管上端外壁与冷却水面板之间设有第一密封圈；所述内管上端与冷却水面板连接位置处设有第二密封圈；所述支撑架与内管之间设有第三密封圈；所述外管与底板之间设有第四密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种辅助阳极装置，其特征在于：所述溅射源设置四个。