[实用新型]一种用于拉制筒状材料的装置

说明书

一种用于拉制筒状材料的装置，涉及新材料技术领域，本实用新型通过在坩埚(5)上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽(4)，利用材料熔液自身存在表面张力的特性，可使熔液上表面高于弧形槽槽底，设置在籽晶夹头(1)上的籽晶(2)插入弧形槽内并与坩埚内的熔液接触实现筒状材料(3)的拉制，本实用新型具有操作简单，生产效率高、成本低等及拉制长度长等优点，同时具有结构设计合理，特别适合大范围的推广和应用。

【技术领域】

本实用新型涉及新材料技术领域，具体涉及一种用于拉制筒状材料的装置。

【背景技术】

已知的，新材料产业具有技术高度密集，研究与开发投入高，产品的附加值高，生产与市场的国际性强，以及应用范围广，发展前景好等特点，其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济，社会发展，科技进步和国防实力的重要标志，世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。以靶材为例，基于物理气相沉积原理的溅射镀膜工艺，已广泛应用于液晶显示设备、太阳能电池、太阳能真空管、半导体芯片等技术领域；而旋转型靶材是溅射镀膜工艺中常用的一种镀膜耗材，旋转型靶材一般由管状金属基材和镀膜材料层构成，正常做法是在管状金属基材外表面进行表面清洗或者吹砂完后就直接喷涂镀膜材料层，这种产品存在的问题是镀膜材料层与管状金属基材外表面结合强度较差，会影响旋转型靶材在溅射镀膜工艺中的正常使用。

另一种工艺是在一个完整的锭型或棒形材料上用掏料装置掏出一个空心管料，然后将管料绑定在管状金属基材上，该工艺具有生产效率低，生产成本高及管料长度小等缺点，无法得到大范围的推广和应用，因此如何提供一种用于拉制筒状材料的装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

【发明内容】

鉴于背景技术中存在的不足，本实用新型公开了一种用于拉制筒状材料的装置，本实用新型通过在坩埚上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽，利用材料熔液自身存在表面张力的特性，可使熔液上表面高于弧形槽槽底，设置在籽晶夹头上的籽晶插入弧形槽内并与坩埚内的熔液接触实现筒状材料的拉制，本实用新型具有操作简单，生产效率高、成本低等优点。

为了实现上述发明的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于拉制筒状材料的装置，包括籽晶夹头、坩埚和加热器，所述坩埚通过坩埚支撑座设置在一个密闭的腔体内，在坩埚的外部套接有加热器，在坩埚上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽，在每组弧形槽的上方分别设有籽晶夹头，在所述籽晶夹头的下端面设有环形籽晶，所述籽晶的下端面对应且插入每组弧形槽内。

所述的用于拉制筒状材料的装置，所述每组弧形槽包括两个弧形槽，两个弧形槽呈扇形设置。

所述的用于拉制筒状材料的装置，所述加热器的内缘面与坩埚的外缘面之间的距离为5～80mm。

所述的用于拉制筒状材料的装置，所述弧形槽外圈的内缘面与籽晶外缘面之间的间距为0.3～5mm，弧形槽内圈的外缘面与籽晶内缘面之间的间距为0.3～5mm。

所述的用于拉制筒状材料的装置，所述弧形槽的槽底低于坩埚内熔液的上液面。

所述的用于拉制筒状材料的装置，所述弧形槽的中心与籽晶夹头的中心为同心设置。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过在坩埚上部的外缘面上间隔设有至少一组贯通至坩埚上端面的弧形槽，利用材料熔液自身存在表面张力的特性，可使熔液上表面高于弧形槽槽底，设置在籽晶夹头上的籽晶插入弧形槽内并与坩埚内的熔液接触实现筒状材料的拉制，本实用新型具有操作简单，生产效率高、成本低等及拉制长度长等优点，同时具有结构设计合理，特别适合大范围的推广和应用。

【附图说明】

图1是本实用新型的结构示意图；