[实用新型]一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪

权利要求书

1.一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于其包括：闪光氙灯、闪光氙灯控制器、光路转换组件、旋涂仪、光纤光谱仪和数据处理终端；

所述闪光氙灯与所述闪光氙灯控制器连接，所述闪光氙灯控制器对所述闪光氙灯的光强和频率进行调节；

所述光路转换组件设置在所述闪光氙灯的出射光路上，对光源方向进行调整，使得光线照射在位于所述旋涂仪上的钙钛矿薄膜样品上；

所述光纤光谱仪的光纤接收器设置在经所述钙钛矿薄膜样品反射后的光路上，对所述钙钛矿薄膜样品的吸收光谱进行检测，检测数据发送到所述数据处理终端。

2.如权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述分析仪还包括一CCD相机，所述CCD相机固定设置在所述旋涂仪的正上方，对所述旋涂仪上方设置的钙钛矿薄膜样品进行实时原位成像，并发送到所述数据处理终端；其中，所述CCD相机的录像帧数为30-160FPS。

3.如权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述光路转换组件包括第一反光镜组件、第二反光镜组件和凸透镜组件；

所述第一反光镜组件设置在所述闪光氙灯的出射光路上，对所述闪光氙灯出射的白光脉冲的高度进行调整；

所述第二反光镜组件设置在所述第一反光镜组件的出射光路上，用于将水平方向的白光脉冲调整为与水平面呈预设夹角的白光脉冲；

所述凸透镜组件设置在所述第二反光镜组件的出射光路上，用于将与水平面呈预设夹角的白光脉冲进行聚焦后照射在位于所述旋涂仪上的钙钛矿薄膜样品上。

4.如权利要求3所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述第一反光镜组件与闪光氙灯的间距不大于30cm。

5.如权利要求3所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述第一反光镜组件包括第一固定杆、第一反光镜和第二两反光镜，所述第一反光镜和第二反光镜通过旋转接头可旋转地并排设置在所述第一固定杆上，所述第一反光镜将所述闪光氙灯的光源方向调整为垂直水平面向上，所述第二反光镜将垂直水平面向上的光线调整为水平方向后进入所述第二反光镜组件。

6.如权利要求5所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述第二反光镜组件包括第二固定杆和第三反光镜，所述第三反光镜通过旋转接头设置在所述第二固定杆上，且所述第三反光镜设置在所述第二反光镜的出射光路上，用于将水平方向的白光脉冲调整为与水平面呈预设夹角的范围为30°-60°。

7.如权利要求6所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述凸透镜组件包括第三固定杆和凸透镜，所述凸透镜通过旋转接头设置在所述第三固定杆上，所述凸透镜设置在所述第三反光镜的出射光路上。

8.如权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述光纤光谱仪采用型号为AvaSpec-ULS2048，能够接收显示300nm-1100nm波长的光强。

9.如权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述闪光氙灯的可调频率范围为0.1-100HZ。

10.如权利要求1所述的一种钙钛矿薄膜生长过程原位形貌及光谱分析仪，其特征在于：所述钙钛矿薄膜样品包括玻璃基板和设置在玻璃基板上的钙钛矿薄膜层，所述玻璃基板底面蒸镀有一层厚为100nm的银。