[实用新型]机械手自动粘钉机有效

专利信息
申请号: 201920706967.X 申请日: 2019-05-17
公开(公告)号: CN209859915U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 吕辉强 申请(专利权)人: 沈阳汉科半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110000 辽宁省沈*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 石墨盘 石英灯 粘钉 机械手 机械手臂 驱动装置 伸缩机构 石英 本实用新型 附属装置 工作效率 控制面板 石英制品 锁紧装置 控制箱 石英片 载物台 石墨 卡头 半导体 加工
【说明书】:

实用新型涉及半导体石英制品加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种机械手自动粘钉机,可自动进行粘钉,强度好且精度高,提高工作效率;包括机械手自动粘钉机,包括机架、石英灯和控制箱,机架上设置有机械手臂、定位石墨盘驱动装置、石英钉载物台、石英灯伸缩机构和控制面板,机械手臂上设置有石英钉石墨卡头,定位石墨盘驱动装置上设置有定位石墨盘,定位石墨盘上设置有石英片锁紧装置,石英灯安装在石英灯伸缩机构上。

技术领域

本实用新型涉及半导体石英制品加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种机械手自动粘钉机。

背景技术

众所周知,粘钉机是一种用于半导体石英制品加工过程中,进行自动粘钉的辅助装置,其在半导体石英制品加工的领域中得到了广泛的使用;现有的粘钉机使用中发现,目前主要用模具手工粘钉,由于产品要求精度高,存在模具变形及手工误差,造成产品精度保证困难,导致其工作效率较低。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可自动进行粘钉,强度好且精度高,提高工作效率的机械手自动粘钉机。

本实用新型的机械手自动粘钉机,包括机械手自动粘钉机,包括机架、石英灯和控制箱,所述机架上设置有机械手臂、定位石墨盘驱动装置、石英钉载物台、石英灯伸缩机构和控制面板,所述机械手臂上设置有石英钉石墨卡头,所述定位石墨盘驱动装置上设置有定位石墨盘,所述定位石墨盘上设置有石英片锁紧装置,所述石英灯安装在石英灯伸缩机构上。

本实用新型的机械手自动粘钉机,石英灯为用石英制作的喷火枪,以氢氧燃烧为能源。

本实用新型的机械手自动粘钉机,定位石墨盘驱动装置可驱动定位石墨盘做往复运动。

本实用新型的机械手自动粘钉机,控制面板与控制箱电连接。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为:加工之前将石英钉装入到石英钉载物台上,开机调整相关参数后,将定位石墨盘移动到靠近操作台一段,将石英片卡到石墨盘上定好位置,并通过石英片锁紧装置将石英片固定,复位,机械手抓取石英灯到粘钉位置,石英灯点火并移动到石英钉底端将石英钉机石英片烧熔后粘合,石墨盘旋转角度,重复如上动作,粘完后取下石英片,通过机械手自动进行粘钉,强度好且精度高,提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型的结构示意左视图;

附图中标记:1、机械手臂;2、定位石墨盘驱动装置;3、石英钉载物台;4、石英钉石墨卡头;5、石英片锁紧装置;6、石英灯伸缩机构;7、石英灯;8、控制面板;9、控制箱;10、定位石墨盘。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

如图1和图2所示,本实用新型的机械手自动粘钉机,包括机械手自动粘钉机,包括机架、石英灯7和控制箱9,机架上设置有机械手臂1、定位石墨盘驱动装置2、石英钉载物台3、石英灯7伸缩机构6和控制面板8,机械手臂1上设置有石英钉石墨卡头4,定位石墨盘驱动装置2上设置有定位石墨盘10,定位石墨盘10上设置有石英片锁紧装置5,石英灯7安装在石英灯7伸缩机构6上;加工之前将石英钉装入到石英钉载物台上,开机调整相关参数后,将定位石墨盘移动到靠近操作台一段,将石英片卡到石墨盘上定好位置,并通过石英片锁紧装置将石英片固定,复位,机械手抓取石英灯到粘钉位置,石英灯点火并移动到石英钉底端将石英钉机石英片烧熔后粘合,石墨盘旋转角度,重复如上动作,粘完后取下石英片,通过机械手自动进行粘钉,强度好且精度高,提高工作效率。

本实用新型的机械手自动粘钉机,石英灯7为用石英制作的喷火枪,以氢氧燃烧为能源;通过喷火枪可实现将石英钉与石英片进行粘焊。

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