[实用新型]在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排

说明书

本实用新型提供一种在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排，该硅烷汇流排包括作为高压管路的硅烷气供气通道、作为低压管路的配气架连接管路、用于连通高压管路与低压管路的减压管路、抽真空装置以及真空切换开关组，其中，硅烷气供气通道和减压管路分别与抽真空装置连通，各连接管路上分别设有真空切换开关作为真空切换开关组，用于切换硅烷气供气通道、减压管路与抽真空装置的通断。本实用新型采用两个硅烷气供气通道和真空切换开关组的组合方案，实现了稳定不间断的供气；并采用引流抽真空机构配合高压氮气引流使硅烷汇流排的管路中产生负压，采用高压氮气充分清洗管道，降低管道含氧量，减少硅烷粉尘的产生，以降低仪表维护成本。

技术领域

本实用新型属于玻璃镀膜技术领域，涉及浮法玻璃生产线上在线阳光控制膜镀膜系统，具体涉及一种在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排。

背景技术

目前国内浮法玻璃产能严重过剩，浮法玻璃生产厂家纷纷采取措施降低由此带来的损失。在不影响浮法玻璃正常生产的情况下，在生产线上增加一套在线镀膜设备生产镀膜玻璃，可以大大提高玻璃产品的技术含量，提升产品的利润空间，同时可以避开与产能严重过剩的浮法玻璃原片之间的竞争。而其中的阳光控制膜镀膜系统由于投资小，成本回收快，生产灵活，所以受到很多浮法玻璃生产厂的青睐。

在线阳光控制膜镀膜技术是在浮法玻璃生产线的锡槽中，在适合的温度、气氛下，将一种特定配比的反应气体均匀地喷涂在洁净的玻璃表面上，使之发生热分解反应：

硅烷分解从而在玻璃表面上沉积一层纳米级薄膜，整个工艺流程非常简单，不破坏原有锡槽气氛，不影响生产线的正常生产。用此项技术生产的镀膜玻璃具有其它镀膜工艺所无法比拟的优点：产量大，成本低，规格全；具有高透光度或高反射率；能进行钢化，热弯加工；高温化学成膜，膜层牢固，具有很强的耐磨性和化学稳定性。

大批量连续生产阳光控制膜镀膜玻璃的时候，保持镀膜气体原料的稳定供应是非常重要的一环。阳光控制膜镀膜生产线使用硅烷气作为主要原料，硅烷气体汇流排的设计，对保证反应气体的稳定供应至关重要。实际生产中常常将16-25瓶硅烷集中到一起，做成一个集装架，生产时一次打开所有瓶阀，硅烷经过汇流排上的减压器稳压以后，再输送至配气架，跟氮气、乙烯等气体混合均匀后送入反应器进行反应。其中，开始供气、结束供气和中间气瓶切换是导致供气不稳定的三个主要时间段，尽量缩短这三个时间段是提高成品率的一个关键。

现有的镀膜生产中还会遇到一个问题，就是用氮气清洗管路很难把管路中的空气完全清除掉，空气中的氧气与硅烷容易发生如下分解反应：

SiH₄+2O₂＝SiO₂↓+2H₂O 3)

因此，每次镀膜结束清洗管路时，总是会发现不少硅烷分解产生的粉末(SiO₂) 堵塞住流量控制器、仪表等，下一次镀膜生产前，需要全部清理干净才能正常使用。所以尽量降低管路内部所含有的氧气成分，是避免硅烷氧化，从而产生粉尘而堵塞管路的关键。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排，该汇流排能够解决大批量连续生产阳光控制膜玻璃的时候，硅烷汇流排上的气瓶切换引起的反应气体供气不稳定的问题，以及管路中的空气清洗不充分的问题。

本实用新型的上述问题是由以下技术方案解决的：