[实用新型]废气处理装置及废气处理系统

说明书

本实用新型提供的废气处理装置以及废气处理系统，包括冷却腔体和刮除结构，其中，冷却腔体用以使待处理气体中的有害物质在其内壁上凝结成凝结物，用于与冷却腔体的内壁相对运动，以刮除凝结在冷却腔体内壁上的凝结物，并且，在冷却腔体的内壁上设置有第一凹槽。本实用新型中，通过冷却腔体和刮除结构能够有效去除废气中的有害物质，进一步地，通过在冷却腔体的内壁上设置第一凹槽，增大冷却腔体与待处理气体的接触面积，使待处理气体与冷却腔体的内壁充分接触，从而进一步提高去除废气中的有害物质的效率。

技术领域

本实用新型属于废气处理领域，具体涉及一种废气处理装置及废气处理系统。

背景技术

真空镀膜机产生的尾气含有大量未参加反应的AsH₃、PH₃以及含砷化合物，因而需要对尾气中的AsH₃、PH₃以及含砷化合物进行废气处理。

作为一种常见的废气处理方法，通过使用过滤器过滤废气，但这种废气处理方法需要频繁更换滤芯，一方面，会增加原料消耗，另一方面，滤芯需要人工手动更换，增加劳动强度，且会对人体造成危害。

因此，本领域亟需一种避免原料消耗，同时避免对人体造成危害的废气处理系统。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种废气处理装置及废气处理系统。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种废气处理装置，其包括：

冷却腔体(1)，所述冷却腔体(1)用以使待处理气体中的有害物质在其内壁上凝结成凝结物；

刮除结构，用于与所述冷却腔体(1)的内壁相对运动，以刮除凝结在所述冷却腔体(1)内壁上的凝结物；

并且，在所述冷却腔体(1)的内壁上设置有第一凹槽(11)。

进一步地，刮除结构包括刮除件、旋转驱动源(22)和旋转轴(23)；

其中，所述刮除件设置在所述冷却腔体(1)中；

所述旋转驱动源(22)通过所述旋转轴(23)与所述刮除件连接，用于驱动所述刮除件旋转，并在旋转过程中刮除所述冷却腔体(1)内壁上的所述凝结物。

进一步地，所述刮除件为盘状刮板(21)；

并且，所述旋转轴(23)、所述盘状刮板(21)的轴线与所述冷却腔体(1)的轴线的方向一致。

进一步地，在所述盘状刮板(21)的与所述冷却腔体(1)内壁相接触的表面上还设置的第二凹槽(24)，所述第二凹槽(24)设置在所述盘状刮板(21)的竖直表面上，且在径向上延伸至所述盘状刮板(21)的边缘。

进一步地，所述第一凹槽(11)所在的表面与所述第二凹槽(24)所在的表面相对设置。

进一步地，所述废气处理装置还包括磁流体密封件(3)，所述磁流体密封件(3)通过轴承(4)套设在所述旋转轴(23)上，且与所述冷却腔体(1)连接，用于密封所述冷却腔体(1)与所述旋转轴(23)之间的缝隙。

进一步地，所述冷却腔体(1)上设置有进气口(26)和出气口(27)，在垂直于所述冷却腔体(1)的轴向投影面上，所述进气口(26)和所述出气口(27)的夹角为170°～190°。

进一步地，所述冷却腔体(1)的底部设置有出料口(25)，用于收集被刮除的凝结物。

进一步地，在垂直于所述冷却腔体(1)的轴向投影面上，所述出料口(25)与所述进气口(26)在竖直方向上的夹角为15°～45°。