[实用新型]一种新型碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201920509278.X | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN210065979U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郭士贤 | 申请（专利权）人： | 深圳市优越新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 44632 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 霍如肖 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热板 炉体内部 热保护器 隔板 炉体 上盖 陶瓷外壳 籽晶杆 底端 伸入 通孔 穿过 本实用新型 碳化硅晶体 电性连接 生长装置 外侧设置 外壳内部 温度稳定 灵敏度 固定栓 石墨烯 探头 低端 炉内 串联 | ||
1.一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体(1)；其特征在于：所述炉体(1)上侧安装有上盖(3)，且上盖(3)扣在炉体(1)上侧，所述上盖(3)中间位置设置有通孔(8)，且通孔(8)为圆台型设置，所述通孔(8)贯穿上盖(3)，所述上盖(3)上侧设置有籽晶杆(4)，且籽晶杆(4)底端穿过通孔(8)伸入炉体(1)内部，所述籽晶杆(4)外侧套有限位块(7)和固定套(6)，且固定套(6)位于限位块(7)上侧，所述固定套(6)底端内部和限位块(7)上端外侧均设置有螺纹，所述固定套(6)与限位块(7)之间通过螺纹旋转连接，所述炉体(1)外侧设置有外壳(13)，所述外壳(13)外侧安装有陶瓷外壳(14)，所述陶瓷外壳(14)通过螺栓固定安装在外壳(13)外侧，所述炉体(1)内部安装有加热板(2)，所述加热板(2)设置为石墨烯板，所述加热板(2)通过固定栓(15)固定在外壳(13)内部，所述加热板(2)与控制开关(9)电性连接，所述控制开关(9)安装在陶瓷外壳(14)外侧，所述炉体(1)内部低端安装有隔板(10)，所述隔板(10)底端安装有热保护器(11)，且热保护器(11)的探头穿过隔板(10)伸入炉体(1)内部，热保护器(11)与加热板(2)以串联的方式将进行连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述限位块(7)为圆台型设置，所述限位块(7)嵌入通孔(8)内部。
3.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述外壳(13)和陶瓷外壳(14)之间设置有隔温层(12)，且隔温层(12)设置为真空保温层。
4.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述外壳(13)内部设置有锡箔层(16)，且锡箔层(16)附着在外壳(13)内部。
5.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅晶体生长装置，其特征在于：所述限位块(7)与籽晶杆(4)之间设置有弹垫(5)，且弹垫(5)一侧与限位块(7)之间通过粘合胶相互粘贴。
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