[实用新型]烘烤装置

权利要求书

1.一种烘烤装置，其特征在于，包括箱体、加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件，所述箱体具有烘烤腔，所述加热板、所述溶剂消除部件和所述气体驱动部件设于所述烘烤腔内，所述加热板用于承载和烘烤基板，所述溶剂消除部件用于消除所述基板经烘烤所蒸发的溶剂，所述气体驱动部件用于驱动所述烘烤腔内的气体在所述烘烤腔内循环运动。

2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括隔板，所述隔板设于所述烘烤腔内以将所述烘烤腔分隔为第一腔体和第二腔体，所述隔板上设有第一风口和第二风口，所述气体驱动部件设于所述第一风口，以用于驱动气体通过所述第一风口和第二风口在所述第一腔体和所述第二腔体之间循环，所述加热板设于所述第一腔体内，所述溶剂消除部件设于所述第二腔体内。

3.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，相对于所述第一腔体，所述第一风口为进风口，所述第二风口为出风口，所述溶剂消除部件设于所述第二腔体内且靠近所述第二风口的位置。

4.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述隔板包括隔板顶壁和隔板侧壁，所述隔板顶壁与所述箱体的顶壁之间及所述隔板侧壁与所述箱体的侧壁之间均具有间隔，所述间隔形成所述第二腔体。

5.根据权利要求4所述的烘烤装置，其特征在于，所述第一风口和所述第二风口设于所述隔板侧壁上相对的位置。

6.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述溶剂消除部件将所述第二腔体分隔为相互独立的两个子腔体，其中一个所述子腔体与所述第一风口连通，另一个所述子腔体与所述第二风口连通。

7.根据权利要求1～6任一项所述的烘烤装置，其特征在于，所述溶剂消除部件包括壳体和设于所述壳体内的吸附材料，所述壳体上设有气孔。

8.根据权利要求7所述的烘烤装置，其特征在于，所述壳体上设有可开关的密封挡板，所述密封挡板能够与所述气孔配合以将所述气孔封闭。

9.根据权利要求7所述的烘烤装置，其特征在于，所述吸附材料为吸附柱、活性炭、铜网、大孔吸附树脂、沸石和活性氧化铝中的至少一种。

10.根据权利要求1～6任一项所述的烘烤装置，其特征在于，所述气体驱动部件为风机过滤机组。