[实用新型]一种大尺寸构件物理气相沉积喷嘴有效
| 申请号： | 201920413933.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209816258U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李仕诚 | 申请（专利权）人： | 李仕诚 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 52116 贵阳易博皓专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张浩宇 |
| 地址： | 200431 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔板 分配板 喷嘴座 本实用新型 大尺寸构件 第二空腔 第一空腔 出口段 分配层 均匀化 入口段 物理气相沉积 均匀镀膜 真空镀膜 喷嘴 发散 多块 耗材 流体 狭缝 小孔 沉积 成功率 喷射 汇聚 | ||
【权利要求书】：
1.一种大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，由入口段（1）与喷嘴座（2）构成，其特征在于：所述的喷嘴座（2）由分配层（3）、第一空腔（4）、分配板（5）、第二空腔（6）和出口段（7）组成，所述的分配层（3）由多块隔板（8）构成，隔板（8）的一端汇聚在入口段（1）与喷嘴座（2）的连接处，隔板（8）的另一端向外发散；所述的分配板（5）形状为长方体，在分配板（5）上开有小孔（9），分配板（5）置于第一空腔（4）和第二空腔（6）之间；所述的出口段（7）为长窄的狭缝，出口段（7）位于第二空腔（6）的下方。
2.根据权利要求1所述的大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，其特征在于：所述的入口段（1）为圆形或方形截面的导管。
3.根据权利要求1所述的大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，其特征在于：所述分配层（3）的隔板（8）为直线型或曲线型隔板。
4.根据权利要求1所述的大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，其特征在于：所述分配板（5）上的小孔（9）在分配板（5）的两端呈密集分布，在分配板（5）的中心呈分散分布。
5.根据权利要求1所述的大尺寸构件物理气相沉积喷嘴，其特征在于：所述分配板（5）上的小孔（9）形状为圆形、方形或三角形。
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