[实用新型]光阻烘烤设备

权利要求书

1.一种光阻烘烤设备，其特征在于，包括：

烘烤炉；

加热盘，设于所述烘烤炉内，且具有相背的加热面和背面；

支撑针，可滑动地穿过所述加热盘，且具有支撑端和连接端，所述支撑端用于支撑基材；

第一驱动装置，与所述支撑针的连接端连接，用于驱动所述支撑针往复直线移动；

测温装置，设于所述烘烤炉内，且与所述加热面相对设置，用于检测所述基材的温度，并输出检测温度；

第二驱动装置，设于所述烘烤炉内，且与所述测温装置连接，用于驱动所述测温装置朝向或背向所述加热盘移动；

第一控制装置，用于响应一控制信号，并根据所述检测温度控制所述第一驱动装置调节所述支撑端伸出所述加热面的距离，直至所述检测温度满足预设条件；以及，控制所述第二驱动装置使所述测温装置与所述支撑针同步移动，以使所述测温装置与所述支撑端在垂直于加热面方向上的距离为大于所述基材厚度的预设间距。

2.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述测温装置包括：

安装架，与所述第二驱动装置连接，且与所述加热面正对设置；

多个温度检测器件，固定于所述安装架，用于检测所述基材的多个区域的温度，并输出多个检测温度；

所述检测温度满足预设条件包括：

各所述检测温度的平均值等于目标温度；或者，与目标温度相等的检测温度的数量不小于一阈值。

3.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于，多个所述温度检测器件包括中心温度检测器件和多个边缘温度检测器件，所述边缘温度检测器件围绕所述中心温度检测器件呈多圈同心圈状分布。

4.根据权利要求2所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述安装架为网状结构。

5.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述第二驱动装置包括：

底座，固定于所述烘烤炉内，且位于所述测温装置远离所述加热面的一侧，并与所述加热面正对设置；

动力件，固定于所述底座上；

连接件，同时与所述动力件和所述测温装置连接；所述动力件能驱动所述连接件带动所述测温装置朝向或背向所述加热盘移动。

6.根据权利要求2所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述光阻烘烤设备还包括：

第二控制装置，用于响应一包含所述目标温度的启动信号后，根据所述目标温度和预设对应关系确定对应所述目标温度的高度值，并根据所述高度值控制所述第一驱动装置使所述支撑端与所述加热面的距离为所述高度值，并生成所述控制信号；

所述预设对应关系包括对多个互不相同的目标温度和多个互不相同的高度值，多个所述目标温度和多个所述高度值一一对应；且任意两个所述高度值中，对应较大目标温度的高度值小于对应较小目标温度的高度值。

7.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述光阻烘烤设备还包括：

排气管，所述排气管与所述烘烤炉连通，用于排出所述烘烤炉内的气体。

8.根据权利要求1-5任一项所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述加热盘由多个加热部拼接而成，且各所述加热部分别独立发热。

9.根据权利要求1-5任一项所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述支撑针的数量至少为三个，且围绕所述加热盘的中心均匀分布。

10.根据权利要求1-5任一项所述的光阻烘烤设备，其特征在于，所述测温装置与所述基材的距离大于0且小于1mm。