[实用新型]曝光机有效

专利信息
申请号: 201920244263.5 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN209674180U 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 程亮 申请(专利权)人: 广东思沃精密机械有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人: 张全文<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 523000 广东省东莞市松*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 收卷胶辊 电磁离合器 安装架 曝光膜 驱动电机 传动连接 传输装置 驱动机构 主机体 转动方向相反 本实用新型 输出轴转动 方向相反 曝光设备 外界因素 曝光机 输出端 输入端 主机 错位 体内
【说明书】:

实用新型属于曝光设备技术领域,尤其涉及一种曝光机,包括主机体和两个传输装置,两个传输装置均包括安装架、收卷胶辊和驱动机构,两个安装架分别安装于主机体的输入端和输出端,两个收卷胶辊分别安装于两个安装架上,两个驱动机构均包括驱动电机和与驱动电机传动连接的电磁离合器,驱动电机和电磁离合器均安装于对应的安装架上,且电磁离合器与对应的收卷胶辊传动连接。当待曝光膜料到达指定位置后,两电磁离合器的输出轴转动方向相反,使得两收卷胶辊发生转动方向相反的趋势,由于两收卷胶辊能够将待曝光膜料在主机体内的位置牢牢限定,这样待曝光膜料便不会在外界因素的影响下发生错位,有效提升了待曝光膜料的位置精度。

技术领域

本实用新型属于曝光设备技术领域,尤其涉及一种曝光机。

背景技术

曝光设备的工作原理是利用曝光件对待曝光膜料进行曝光成像。而在曝光设备内,通常都设置有用于传输待曝光膜料的传送系统以将待曝光膜料传送至曝光设备内的指定位置。

在实际曝光过程中,待曝光膜料相对于基板的位置关系常会由于外界因素的影响而发生错位,现有的传送系统虽能够实现对待曝光膜料的有效传输,但无法预防上述错位现象的发生,进而易导致曝光失准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光机,旨在解决现有技术中的待曝光膜料易相对于基板发生错位的技术问题。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种曝光机,包括主机体和两个传输装置,两个所述传输装置均包括安装架、收卷胶辊和驱动机构,两个所述安装架分别安装于所述主机体的输入端和输出端,两个所述收卷胶辊分别可转动地安装于两个所述安装架上并均用于传送待曝光膜料通过所述主机体,两个所述驱动机构均包括驱动电机和与所述驱动电机传动连接的电磁离合器,所述驱动电机和所述电磁离合器均安装于对应的所述安装架上,且所述电磁离合器与对应的所述收卷胶辊传动连接。

进一步地,两个所述传输装置均包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊,所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。

进一步地,所述第一传输胶辊靠近所述主机体设置,所述第二传输胶辊位于所述第一传输胶辊背离所述主机体的一侧,所述第三传输胶辊位于所述第二传输胶辊和所述收卷胶辊之间。

进一步地,两个所述传输装置均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件,所述承接组件安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间。

进一步地,两个所述承接组件均包括吸气板和承托板,所述吸气板安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间,所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔,所述承托板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔,所述承托板上开设有若干吸气孔,各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。

进一步地,两个所述吸气板的底部均安装有用于与外界抽真空装置相连通的吸气嘴,所述吸气嘴与对应的所述吸气腔相连通。

进一步地,两个所述驱动机构均包括第一传动轮、第二传动轮和第一传动皮带,所述第一传动轮安装于对应的所述驱动电机的驱动轴,所述第二传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输入轴,所述第一传动皮带套设于所述第一传动轮和所述第二传动轮之间。

进一步地,两个所述驱动机构均还包括第三传动轮、第四传动轮和第二传动皮带,所述第三传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输出轴,所述第四传动轮安装于对应的所述收卷胶辊的一端,所述第二传动皮带套设于所述第三传动轮和所述第四传动轮之间。

进一步地,两个所述驱动机构均还包括第一架体,所述第一架体安装于对应的所述安装架上,所述收卷胶辊安装有所述第四传动轮的一端穿设过所述安装架并可转动地安装于所述第一架体上。

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