[实用新型]一种真空室用样品传送车

权利要求书

1.一种真空室用样品传送车，包括基片车滑杆(1)，其特征在于：所述基片车滑杆(1)上设置有活动板(2)，所述活动板(2)上设置有基片车支撑杆(3)，所述基片车支撑杆(3)上设置有车基片架(4)，所述车基片架(4)上设置有限位槽(5)。

2.根据权利要求1所述的一种真空室用样品传送车，其特征在于：所述基片车滑杆(1)设置有两个，并且均采用铝合金的材质制作，所述基片车滑杆(1)之间的间距为80mm，所述基片车滑杆(1)的长度为1000mm。

3.根据权利要求1所述的一种真空室用样品传送车，其特征在于：所述活动板(2)采用不锈钢的材质制作，并且套在所述基片车滑杆(1)的外表面，所述活动板(2)的两端对称连接在两个所述基片车活动杆上。

4.根据权利要求1所述的一种真空室用样品传送车，其特征在于：所述基片车支撑杆(3)采用铝合金的材质制作，并且通过螺纹与所述活动板(2)的上表面相连接，所述基片车支撑杆(3)呈凸字型。

5.根据权利要求1所述的一种真空室用样品传送车，其特征在于：所述车基片架(4)嵌合在所述基片车支撑杆(3)的外表面，所述车基片架(4)设两个，并且对称设备在所述活动板(2)上表面的左右两侧，所述限位槽(5)位于所述车基片架(4)的内侧。