[发明专利]一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统

权利要求书

1.一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统，其特征在于，包括：

照明光源，以及依次布置所述照明光源的光路上耦合物镜、第一偏振片、偏振分光棱镜、平面单晶、二向色镜和显微物镜；

第一相机，用于采集共焦扫描的图像；

样品台，其上放置有检测晶圆；

环绕所述检测晶圆布置的倏逝场移频照明光源；

安装在所述显微物镜外周且输出光场倾斜入射照明被检测晶圆的暗场照明光源；

第二相机，用于暗场照明，PL模式照明和移频照明远场像的采集；

所述的第一相机位于二向色镜的透射光路上，所述的第二相机位于二向色镜的反射光路上；

所述的倏逝场移频照明光源的排布为360度光纤束端面输出、分段式波导端面输出或波导环型表面倏逝场耦合输出；所述的暗场照明光源为环形LED照明、环形光纤束阵列照明或结合对应的暗场聚光器实现；所述的耦合物镜与第一偏振片间依次设置有第一透镜、针孔、第二透镜和滤光片；所述的第一偏振片与偏振分光棱镜间依次设置有柱面镜和第三透镜。

2.如权利要求1所述的半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统，其特征在于，所述的照明光源为汞氙灯、LED光源或激光光源。

3.如权利要求1所述的半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统，其特征在于，所述的倏逝场移频照明光源和暗场照明光源设置在相应的光源载具上。