[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种用于制造太阳能电池的方法，包括：

在硅衬底的第一表面上形成钝化层；

在所述钝化层上形成金属线；以及

使用激光对所述金属线进行辐照，以使所述金属线中的至少一部分与所述第一表面电接触。

2.根据权利要求1所述的方法，其中使用所述激光对所述金属线进行辐照包括：

使用激光沿着所述金属线的延伸方向对所述金属线进行扫描式脉冲辐照。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

调整所述激光的扫描速度和脉冲频率中的至少一项，以使用经调整的所述激光对所述金属线进行扫描式脉冲辐照。

4.根据权利要求3所述的方法，其中调整所述激光的扫描速度和脉冲频率中的至少一项包括：

调整所述激光的扫描速度为26000mm/s，并且调整所述脉冲频率为600Hz。

5.根据权利要求1所述的方法，其中在所述钝化层上形成所述金属线包括：

在所述钝化层上形成宽度小于100μm的铝栅线。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在所述硅衬底的、与所述第一表面相对的第二表面中进行掺杂，以形成PN结。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述太阳能电池包括发射极及背表面钝化的太阳能电池。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在使用所述激光对所述金属线进行辐照之前，对所述钝化层上形成的所述金属线进行高温烧结。

9.一种太阳能电池，使用根据权利要求1至8中任一项所述的方法制造而成。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池，其中位于钝化层上的经激光辐照的金属线的至少一部分金属材料被渗入到钝化层中。