[发明专利]一种孔径尺寸可控的金属型二碲化铬纳米孔的制备方法

权利要求书

1.一种孔径尺寸可控的金属型二碲化铬纳米孔的制备方法，其特征在于，它包括如下步骤；

步骤1、制备样品：首先制备金属型二碲化铬薄片，并将其转移到微栅上，构成二维层状过渡金属硫化物TMDCs样品，将样品装入原位加热样品杆，并将原位加热样品杆放入透射电子显微镜中；

步骤2、校准电镜：选取透射电子显微镜的放大倍率为30～150万倍，校准透射电子显微镜的参数，调节样品位置至透射电子显微镜的对焦点；

步骤3、升温并稳定温度：调控透射电子显微镜的原位加热系统，对样品进行加热，设定温度为100 ～500摄氏度，开始升温直到达到设定温度，然后稳定在设定温度；

步骤4、会聚电子束调节电子束束流：将电子束会聚成束斑，在高分辨模式下调节电子束斑的直径，将电子束束流的大小控制在300～800皮安/平方厘米；

步骤5、第一次电子束辐照：持续电子束辐照，直至纳米孔出现，待纳米孔出现后，散开电子束并降低电子束束流，将电子束束流的大小控制在100 ～200皮安/平方厘米，以减缓纳米孔的孔径扩大速度；

步骤6、扩大电子束束斑直径、降低电子束束流：当步骤5所述纳米孔的直径接近设定的孔径时，纳米孔呈现规则的多边形结构，散开电子束，降低电子束束流，将电子束束流的大小控制在2～10皮安/平方厘米，修复纳米孔的孔径及形状；

步骤7、第二次电子束辐照：待纳米孔修复至设定的孔径及形状时，降低电子束束流，将电子束束流的大小控制在0～1皮安/平方厘米，停止对样品加热，等待时间为1～5分钟，获得多边形形状的金属型二碲化铬纳米孔。

2.根据权利要求1所述的一种孔径尺寸可控的金属型二碲化铬纳米孔的制备方法，其特征在于，所述步骤1中金属型二碲化铬薄片的制备由机械剥离或超声分离获得，金属型二碲化铬薄片的厚度为20～70纳米。