[发明专利]一种环件三坐标检具及利用其的测量方法和用途

说明书

本发明提供一种环件三坐标检具，所述检具在底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，并沿圆形凹腔的外周设置有供三坐标测量机测针伸入的凹槽；本发明提供的所述检具通过圆形凹腔实现对环件的固定，凹槽供三坐标测量机的测针伸入，从而能够测量环件的底部和侧面；本发明提供的检具结构简单、加工容易；利用该检具进行环件三坐标测量时，能够有效防止环件在测量过程中变形，保障环件的检测准确度和重复性，提高检测效率，能够很好地应用在半导体或机械加工领域。

技术领域

本发明涉及零部件检验技术领域，尤其涉及一种环件三坐标检具及利用其的测量方法和用途。

背景技术

在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射中无论是8寸生产线，12寸生产线都会用到环件，环件在其中也参与溅射。环件在溅射机台上安装后，通过电流通电作用，使周围产生磁场，让溅射靶材上面的原子通过磁场能够均匀的附着在晶圆上，环件安装在机台上，开口位置通电时，其他区域与机台不能有接触，不能有导电。

因此需要严格把控环件的尺寸，目前环件的测量主要依靠卡尺和千分尺检测一些简单的尺寸例如高度和壁厚，采用人工测量的方法，效率偏低且准确性和重复性得不到保障，而且对于复杂的尺寸无法进行检测。

机械加工领域常采用三坐标测量机对零部件的尺寸进行检测，但采用三坐标测量机对零部件进行检测时必须保证环件本身的形状不变。而靶材溅射中采用的环件是由板条卷成的，且环件含有开口，在检测过程中容易产生较大的变形，如果产品变形较大，在检测时测针就会错过产品或者撞到产品，不仅无法实现精确测量，而且容易划伤环件。

CN206855298U公开了一种三坐标测量夹具，该夹具上设置有定位点，但该夹具未考虑零部件易变形时如何进行三坐标检测的问题。

CN208140064U公开了一种具有旋转功能的三坐标测量夹具，该夹具在测量过程中能够旋转，但无法解决零部件变形导致无法进行三坐标检测的难题。

CN110160476A公开了一种基于三坐标测量机的连续自动测量系统，其系统包括了一种组合夹具，但该夹具同样无法实现易变形零部件的三坐标检测。

综上，现有三坐标测量机的夹具均未意识到解决易变形零部件的测量问题，导致目前易变形的环件仍然采用手工测量，测量效率低且准确度和重复性无法保障。

因此，需要开发一种便于三坐标测量机对环件进行测量的检具及方法，提高环件的检测效率和准确度。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，本发明提供一种环件三坐标检具，所述检具通过在底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，能够固定环件，防止其在检测过程中产生变形；沿圆形凹腔的外周通过设置供三坐标测量机测针伸入的凹槽，从而能够测量环件的底部和侧面，并且检测尺寸范围广；利用该检具进行环件三坐标测量时，能够保障环件的检测准确度和重复性，应用在半导体或机械加工领域，能够提高检测效率，保障产品精度。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供一种环件三坐标检具，所述检具包括底座；所述底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔；在所述底座上，沿圆形凹腔的外周设置有供三坐标测量机测针伸入的凹槽。

本发明提供的环件三坐标检具通过在底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，能够固定环件，防止其在检测过程中产生变形。沿圆形凹腔的外周设置的供三坐标测量机测针伸入的凹槽能够测量环件的底部和侧面，从而能够测量复杂的尺寸，提高检测效率和准确度。

优选地，所述圆形凹腔的深度为45～60mm，例如可以是45mm、46mm、47mm、48mm、49mm、50mm、51mm、52mm、53mm、54mm、55mm、56mm、57mm、58mm、59mm或60mm，优选为48～55mm。

优选地，所述凹槽的深度小于圆形凹腔的深度。