[发明专利]用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法

说明书

本发明公开了用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法，设备包括第一净化台、第二净化台、第一炉管、第二炉管、第一石墨舟、第二石墨舟、插取片机械手、上料输送线和下料输送线，插取片机械手位于第一净化台、第二净化台、第一石墨舟与第二石墨舟围成的区域内，上料输送线包括依次设置的上料花篮、上料传输带和上料存储架，下料输送线包括依次下料花篮、下料传输带和下料存储架。方法包括上料输送、一次插片、背面叠层膜的制备、一次卸片、二次插片、正面减反射钝化膜、二次卸片、下料输送。本发明可在同一台设备内完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜制备。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法。

背景技术

光伏发电系统是一种利用太阳能电池半导体材料的“光伏效应”将太阳光辐射能直接装换为电能的一种新型发电系统。太阳能电池，又称光伏电池，是光伏发电系统中最核心的器件。PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，即钝化发射极和背面电池技术，最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出，目前正在成为太阳电池新一代的常规技术。

PERC电池制备的流程：硅片清洗制绒——磷扩散——去磷硅玻璃和单面抛光——背面沉积钝化膜(AlOx膜)——背面沉积覆盖层(SiONx、SiNx、SiOx膜中的一种或多种的组合)——正面沉积减反射钝化膜(SiONx、SiNx膜中的一种或两种的组合)——背面激光刻划接触区——背面印刷铝栅线——正面印刷银栅线——高温烧结。其中背面沉积钝化膜、背面沉积覆盖层和正面沉积减反射钝化膜对电池的电性能参数、内部缺陷率测试、外观良率的影响尤其重要，目前市场上制备这三种膜的方式有：

(1)ALD(Atomic Layer Deposition原子层沉积)设备沉积背面钝化膜，PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备沉积背面覆盖层，另一机台PECVD设备沉积正面减反射钝化膜中；

(2)板式PECVD沉积背面钝化膜+背面覆盖层，管式PECVD设备沉积正面减反射钝化膜；

(3)管式PECVD沉积背面钝化膜，另一机台管式PECVD沉积正面减反射钝化膜。

使用以上三种方式沉积背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜时，从一类设备完成某一种膜的制备后需二次转移到另一类或同类型另一机台设备上完成第二种膜的制备，二次转移电池片的过程中需多次经过传输皮带、电池片花篮、电池片存储架、插取片机械手等，不可避免对电池片造成一定的划伤和污染，影响电池片的电性能参数、内部缺陷率、碎片率、外观良率等，电池片在不同设备或同类设备不同机台之间的转移会消耗更多的人员或机器人的工作量。现有方式完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜的制备通常需要两道或三道工序，所需设备投资高、占地面积大、维护成本高等。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种可在同一台设备内完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜制备，插取片方法可以大幅减少电池片在不同设备或同类设备不同机台之间的转移造成的划伤和污染的用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：