[发明专利]一种微焦点射线管

说明书

本发明涉及射线管技术领域，尤其是一种微焦点射线管，包括阴极、阳极和外壳，所述阳极水平穿装在外壳上，所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上，所述阴极包括灯丝、阴极级片和阴极罩，所述灯丝和阴极级片安装在阴极罩内部，所述阴极级片为多层级片，灯丝发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极的靶面上形成微焦斑，本发明可以解决现有技术中X射线焦点较大无法满足需求的问题。

技术领域

本发明涉及射线管技术领域，具体领域为一种微焦点射线管。

背景技术

目前公知的X射线焦点比较大，X射线成像分辨率较低，不能满足在很多领域(如医用，集成电路，科学研究)的使用。特别在航空、航天、军用类中，需对电子及微电子组装中的电子元器件内部结构微型焊点进行检测，由于被测物体具有高密度、高精度的特点，现有的X射线管已经无法满足正常需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微焦点射线管，以解决现有技术中X射线焦点较大无法满足需求的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种微焦点射线管，包括阴极、阳极和外壳，所述阳极水平穿装在外壳上，所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上，所述阴极包括灯丝、阴极级片和阴极罩，所述灯丝和阴极级片安装在阴极罩内部，所述阴极级片为多层级片，灯丝发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极的靶面上形成微焦斑。

优选的，所述壳体包括金属壳和玻壳，所述玻壳的前端通过第一可伐环与金属壳连接，所述玻壳的尾端通过第二可伐环与阳极尾端过渡连接，所述阴极罩通过钎焊与金属壳连接，所述金属壳外侧接地。

优选的，所述金属壳尾端延伸至玻壳内部。

优选的，所述阳极尾端固定有阳极罩，阳极罩将玻壳与阳极的焊接点保护在阳极罩内侧。

优选的，所述阴极级片为五层级片，五层级片至上而下依次为公共端级、栅控级、加速级、聚焦A级、聚焦B级。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：多层的阴极级片使得电子束加速、聚焦在阳极靶面上形成微焦点X射线，从而使射线管可以用于高精密成像检测设备中，满足各种检测要求；金属壳可以提供坚固稳定的工作环境，同时金属壳接地可以对射线管和操作人员起到保护作用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1灯丝、2阳极罩、3阴极级片、4金属壳、5靶面、6阳极、7第一可伐环、8玻壳、9第二可伐环、10阳极罩。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种微焦点射线管，包括阴极、阳极6和外壳，阳极6水平穿装在外壳上，阴极垂直安装在外壳的侧壁上，阴极包括灯丝1、阴极级片3和阴极罩2，灯丝1和阴极级片3安装在阴极罩2内部，阴极级片3为多层级片，其中每一层级片都有导线从电极引出，可以单独控制电流电压，灯丝1与电极连接，外侧电源给灯丝1供电使灯丝1发出电子束，灯丝1发出的电子束是发散的，发散的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到微米级打在阳极6的靶面5上，然后形成微米级X射线焦斑，多层的阴极级片3可以使得电子束加速、聚焦在阳极6靶面5上形成微焦点X射线，从而使射线管可以用于高精密成像检测设备中，满足各种检测要求。