[发明专利]一种扩散炉推拉舟改善方法在审
| 申请号： | 201911293849.1 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110943019A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 崔文荣 | 申请（专利权）人： | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 推拉 改善 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉推拉舟改善方法，其特征在于：包括以下步骤：
A、首先在炉口处安装过渡平台，且过渡平台的台面与炉口内腔底壁处于同一水平面；
B、拉出晶舟后，使晶舟底部支撑在过渡平台台面上；
C、冷却一段时间后，继续向外拉出晶舟，晶舟底部始终支撑在过渡平台台面上，直至完全拉出晶舟。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉推拉舟改善方法，其特征在于：所述步骤A中过渡平台包括台面(1)、底部支撑架(2)和安装板(3)，所述安装板(3)通过螺丝安装在底部支撑架(2)一侧，且所述安装板(3)安装在炉体外壁，所述台面(1)焊接在底部支撑架(2)上，所述台面(1)、底部支撑架(2)和安装板(3)均采用不锈钢材质制成。
3.根据权利要求2所述的一种扩散炉推拉舟改善方法，其特征在于：所述底部支撑架(2)底部设有支撑腿(4)，且所述底部支撑架(2)与支撑腿(4)之间安装有减震弹簧(5)。
4.根据权利要求3所述的一种扩散炉推拉舟改善方法，其特征在于：所述减震弹簧(5)采用高强度螺旋形弹簧体，且所述减震弹簧(5)采用不锈钢材质制成。
5.根据权利要求2所述的一种扩散炉推拉舟改善方法，其特征在于：所述安装板(3)与炉体为可拆卸式结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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