[发明专利]气体管路系统及半导体设备

权利要求书

1.一种气体管路系统，用于排出及/或供应特定气体至腔室，所述气体管路系统包括至少两段管路及设于所述管路上的泵，其特征在于：所述气体管路系统还包括波纹管、外壳及载有试纸的气体检测装置，所述波纹管连接两段所述管路，所述外壳包围在所述波纹管外，所述气体检测装置设于所述外壳内且位于所述波纹管的一侧，所述试纸在所述气体检测装置内保持湿润，当有特定气体泄露至所述外壳内，所述试纸根据泄露的所述特定气体的酸碱度变化色彩，所述色彩的变化作为检测结果被观测。

2.如权利要求1所述的气体管路系统，其特征在于：所述外壳还设有一开关口，所述开关口靠近所述试纸，打开后可向所述气体检测装置补充液体及更换试纸。

3.如权利要求2所述的气体管路系统，其特征在于：所述开关口为透明材料制成，使所述色彩的变化作为检测结果从所述开关口处直接被观测。

4.如权利要求2所述的气体管路系统，其特征在于：所述开关口由玻璃、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯或聚四氟乙烯制成。

5.如权利要求1所述的气体管路系统，其特征在于：所述外壳为透明材料制成，使所述色彩的变化作为检测结果直接被观测。

6.如权利要求1所述的气体管路系统，其特征在于：所述外壳由玻璃、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯或聚四氟乙烯制成。

7.如权利要求1所述的气体管路系统，其特征在于：所述气体检测装置还包括图像感测器，所述图像感测器获取所述试纸的图像或影像以观测所述试纸的色彩的变化。

8.如权利要求7所述的气体管路系统，其特征在于：所述气体管路系统还包括处理器与开关阀，所述开关阀设于所述管路上，所述处理器与所述图像感测器、所述开关阀通信连接，所述处理器在接收到所述图像感测器获取到所述试纸的图像或影像并分析到有所述特定气体泄漏时，控制所述开关阀关闭。

9.一种半导体设备，其特征在于：包括至少一个腔室及如权利要求1所述的气体管路系统，所述气体管路系统与所述腔室连通，以向所述腔室供应特定气体或排除所述特定气体。

10.如权利要求9所述的半导体设备，其特征在于：所述半导体设备还包括控制机构，所述气体管路系统还包括处理器，所述控制机构与所述处理器通信连接，所述控制机构接收所述处理器发出的气体泄漏的信号，并控制所述腔室在所述特定气体泄漏超过预设标准时停止运行。