[发明专利]一种具有创新电互连结构的微镜装置及制作方法

权利要求书

1.一种具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，包括框架、连接装置、电互连装置和电隔离装置，所述框架包括第一框架(110)和第二框架(120)，所述第一框架(110)活动置于所述第二框架(120)内部，所述连接装置一端设置在所述第一框架(110)上，另一端设置在所述第二框架(120)上，所述电隔离装置将所述第一框架(110)划分为多个电隔离区间，所述电隔离装置将所述第二框架(120)划分为多个电隔离区间，所述连接装置能够连接所述第一框架(110)上的电隔离区间与所述第二框架(120)上的电隔离区间；

所述电互连装置包括介质层(130)和金属线(140)，所述介质层(130)和所述金属线(140)堆叠排布在所述框架上，所述介质层(130)靠近所述第一框架(110)和所述第二框架(120)设置；

所述电隔离装置包括第一电隔离槽(117)，所述第一电隔离槽(117)位于所述第一框架(110)上；

所述连接装置包括第二扭转轴(121)和若干弹性部件(122)，所述第二扭转轴(121)一端固定设置在所述第一框架(110)外框架上，另一端设置在所述第二框架(120)内框架上，所述若干弹性部件(122)一端设置在所述第一框架(110)上，另一端设置在所述第二框架(120)上，所述若干弹性部件(122)与所述第一框架(110)和所述第二框架(120)接触的位置设置有焊盘和锚点，所述第一电隔离槽(117)能将所述第一框架(110)分隔为若干电势独立的电隔离区，不同的电隔离区实现跨区域的电连接，所述第二框架(120)上的焊盘施加恒压检测信号和快扫描轴驱动信号，用于实现微镜快轴驱动和快轴振动反馈。

2.根据权利要求1所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，还包括镜面(101)，所述镜面(101)的一组对边上设置有第一动梳齿(114)，另一对边上固定设置有第一扭转轴(111)，所述第一扭转轴(111)连接所述第一框架(110)和所述镜面(101)。

3.根据权利要求2所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第一框架(110)内框架靠近所述第一动梳齿(114)的一侧设置有第一静梳齿(115)，所述第一静梳齿(115)与所述第一动梳齿(114)构成梳齿对结构，所述第一框架(110)与所述第一扭转轴(111)连接处设置有锚点，所述锚点上设置有焊盘，所述第一框架(110)垂直于所述第一扭转轴(111)的外框架上设置有第二动梳齿(124)。

4.根据权利要求3所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第一静梳齿(115)上还依次设置有绝缘层和金属层，所述绝缘层靠近所述第一静梳齿(115)设置。

5.根据权利要求4所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第二框架(120)的内框架上固定设置有第二静梳齿(125)，所述第二静梳齿(125)与所述第二动梳齿(124)构成梳齿对结构，所述第二框架(120)的内部为空腔(118)，所述镜面(101)和所述第一框架(110)均设置于所述空腔(118)上方。

6.根据权利要求5所述的具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述电隔离装置包括第二电隔离槽(127)，所述第二电隔离槽(127)设置于所述连接装置和所述第二框架之间。

7.根据权利要求6所述具有创新电互连结构的微镜装置，其特征在于，所述第二扭转轴(121)垂直于所述第一扭转轴(111)，所述弹性部件(122)的厚度为5～100μm。