[发明专利]一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜

说明书

本发明提供了一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜。其中，用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台包括至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。其可对单个断口样品进行倾斜而不影响其他断口样品，提高扫描电镜测试效率。

技术领域

本发明属于断口分析设备领域，尤其涉及一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本发明相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。

断口分析是工程材料领域的重要分析手段。通过断口形貌分析可以确定材料开裂的起始位置与最终位置，还可以判定材料的断裂原因，如疲劳、磨损、腐蚀等。目前分析材料断口微观形貌的有效手段是利用扫描电镜的二次电子成像技术获得断口表面的形貌特征。扫描电镜与能谱相结合可以确定外来元素对断口成因的影响。通常情况下断裂材料的断口都是高低不平有相对倾斜的表面的。在观察断口的过程中，有些倾斜面可能由于其倾斜角度过大超出了扫描电镜成像的衬度范围，导致最终获得的图片有模糊区域。为了解决上述问题的一般方法是将样品台倾斜，使断口的倾斜面转至水平位置。

发明人发现，样品台的倾斜角度通常有一定的限制，而且将样品台倾斜的方法只适用于样品台上只有一个断口样品的情况，如果样品台上有多个断口样品，样品台的倾斜使一个样品达到观察条件，却会使其他的样品由于样品台倾斜而转变位置甚至站立不稳，最终掉入样品仓，不利于观察，甚至会对仪器有损害。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜，其可对单个断口样品进行倾斜而不影响其他断口样品，提高扫描电镜测试效率。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其包括：

至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。

作为一种实施方式，所述支架底部设置有支架固定轴，所述支架固定轴可拆卸连接在样品孔内。

作为一种实施方式，所述第一转动轴与第一驱动机构相连，所述第一驱动机构与微处理器相连。

作为一种实施方式，两个第二转动轴分别与两个同步的第二驱动机构对应相连，第二驱动机构与微处理器相连。

作为一种实施方式，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面(-180°～180°)范围内转动。

作为一种实施方式，第二转动辅可绕两端的第二转动轴在(-90°～90°)范围内转动。

作为一种实施方式，所述样品孔设置在样品台底座上，所述样品台底座底部设置有第三转动轴，所述第三转动轴与第三驱动机构相连，第三驱动机构与微处理器相连。

作为一种实施方式，当样品台底座上存在两个样品孔时，这两个样品孔均布于样品台底座的靠近边缘位置。

作为一种实施方式，当样品台底座上存在至少三个样品孔时，一个样品孔设置在样品台底座中心位置，其他样品孔均布于样品台底座的靠近边缘位置；