[发明专利]一种降低太阳能电池片载流子衰减的方法、设备及太阳能电池

权利要求书

1.一种降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，包括：

(1)降低太阳能电池片的光致衰减；

(2)将所述太阳能电池片在300-600℃进行退火；

(3)将退火后的太阳能电池片预热至250-450℃；

(4)将所述太阳能电池片在第一温度范围内进行第一光照处理，持续第一时间；

(5)将太阳能电池片在第二温度范围内进行第二光照处理，持续第二时间；

其中，所述第一温度范围的最高温度≥所述第二温度范围的最高温度；

所述第一时间≤所述第二时间：

其中，步骤(2)包括：

(2.1)将所述太阳能电池片以10-40℃/s的速率升温至300-600℃，升温时间为5-60s；

(2.2)将所述太阳能电池片在300-600℃保温2-60s；

(2.3)将所述太阳能电池片以2-10℃/s的速率降温至60℃以下，降温时间为5-90s。

2.如权利要求1所述的降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，步骤(2)包括：

(2.1)将所述太阳能电池片以10-30℃/s的速率升温至350-450℃，升温时间为10-20s；

(2.2)将所述太阳能电池片在350-450℃保温3-10s；

(2.3)将所述太阳能电池片以2-10℃/s的速率降温至室温，降温时间为40-90s。

3.如权利要求1所述的降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，步骤(3)中，升温速率为30-45℃/s，预热时间为5-60s。

4.如权利要求3所述的降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，步骤(3)中，预热温度为300-370℃，升温速率为30-45℃/s，预热时间为8-12s。

5.如权利要求1所述的降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，步骤(4)中，所述第一光照处理的光照强度范围为2×10⁴-7×10⁴W/m²，所述第一温度范围为250-450℃，所述第一时间为5-60s；

步骤(5)中，所述第二光照处理的光照强度范围为2×10⁴-7×10⁴W/m²，所述第二温度范围为150-300℃，所述第二时间为5-60s。

6.如权利要求5所述的降低太阳能电池片载流子衰减的方法，其特征在于，步骤(4)中，所述第一光照处理的光照强度范围为2×10⁴-5×10⁴W/m²，所述第一温度范围为300-350℃，所述第一时间为5-10s；

步骤(5)中，所述第二光照处理的光照强度范围为2×10⁴-5×10⁴W/m²，所述第二温度范围为200-300℃，所述第二时间为20-35s。

7.一种降低太阳能电池片载流子衰减的设备，其特征在于，包括用于传送太阳能电池片的传输带和依次设于所述传送带上的热退火装置和光热处理装置；

所述光热处理装置包括沿所述传送带依次设置的第一预热区、第一光照区和第二光照区；所述第一光照区具有第一温度范围，光照时间为第一时间；所述第二光照区具有第二温度范围，光照时间为第二时间；

所述第一温度范围的最高温度≥所述第二温度范围的最高温度；

所述第一时间≤所述第二时间；

所述热退火装置对所述太阳能电池片的处理方法如下：

(1)将所述太阳能电池片以10-40℃/s的速率升温至300-600℃，升温时间为5-60s；

(2)将所述太阳能电池片在300-600℃保温2-60s；

(3)将所述太阳能电池片以2-10℃/s的速率降温至60℃以下，降温时间为5-90s。