[发明专利]一种谱线探测方法、装置、谱线探测仪和谱线探测系统

说明书

本申请提供一种谱线探测方法、装置、谱线探测仪和谱线探测系统，所述方法包括：接收待分析的衍射信号对应的脉冲信号，所述衍射信号包括多种谱线，且所述衍射信号为利用射线源对样品进行多个不同角度的照射产生的；根据与目标谱线对应的信号幅度范围，从所述脉冲信号中确定出与目标谱线对应的目标信号；根据所述目标信号生成所述目标谱线对应的衍射图。本申请实施例基于目标谱线对应的电信号的幅度不同，从而根据目标谱线对应的信号幅度范围从脉冲信号中确定出目标信号，由此通过筛选的方式可以减少信号的损耗，保证得到较高信号强度的目标信号，对应生成的衍射图的精度更高。

技术领域

本申请涉及谱线探测领域，具体而言，涉及一种谱线探测方法、装置、谱线探测仪和谱线探测系统。

背景技术

目前，由于衍射仪所需的目标谱线为特征射线，而射线光源产生的射线是一系列特征谱线叠加在射线连续谱上形成的，所以，需要滤波片和单色器对不需要的特征谱线和背景进行过滤，得到所需的目标谱线，从而能够对材料组分、物相、晶体结构常数、晶粒大小、以及晶体取向等进行测量和分析。

传统的探测器为了得到高分辨率的衍射图，需要针对不同的射线靶选择不同的滤波片和单色器，而滤波片和单色器则会导致目标谱线的衍射信号损耗，从而导致衍射信号强度低，得到的衍射图的噪声较高。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种谱线探测方法、装置、谱线探测仪和谱线探测系统，用以降低衍射信号的损耗。

第一方面，实施例提供一种谱线探测方法，包括：接收待分析的衍射信号对应的脉冲信号，所述衍射信号包括多种谱线，且所述衍射信号为利用射线源对样品进行多个不同角度的照射产生的；根据与目标谱线对应的信号幅度范围，从所述脉冲信号中确定出与目标谱线对应的目标信号；根据所述目标信号生成所述目标谱线对应的衍射图。

本申请实施例基于目标谱线对应的电信号的幅度不同，从而根据目标谱线对应的信号幅度范围从脉冲信号中确定出目标信号，由此通过筛选的方式可以减少信号的损耗，保证得到较高信号强度的目标信号，对应生成的衍射图的精度更高。

在可选的实施方式中，所述根据所述目标信号生成所述目标谱线对应的衍射图，包括：根据所述目标信号的幅度，确定与所述目标信号对应的道址；将所述道址的计数值作为与所述目标信号对应的衍射强度数据；其中所述道址的计数值表征在预设时间段内所述目标信号的脉冲次数；根据衍射强度数据生成与所述目标谱线对应的衍射图。

本申请实施例利用与目标谱线对应的目标信号的脉冲次数来表征预设时间段内的衍射信号强度，可以得到反映待分析样品的衍射强度的变化的衍射图，由此，得到的衍射图的精度更高，反映待分析样品的衍射强度的变化更加准确。

在可选的实施方式中，所述根据与目标谱线对应的信号幅度范围，从所述脉冲信号中确定出与目标谱线对应的目标信号之前，所述方法还包括：根据获得的所述目标谱线的类型确定出所述目标谱线对应的谱线能量范围，所述谱线能量范围用于表征谱线的波长与能量；根据所述谱线能量范围，计算得到所述目标谱线对应的信号幅度范围。

本申请实施例根据目标谱线的类型，确定出目标谱线对应的谱线能量范围，并根据谱线能量范围计算得到与目标谱线对应的信号幅度范围，可以提高后续从脉冲信号中确定出目标信号的准确度，以使后续得到的衍射图的精度更高。

在可选的实施方式中，所述接收待分析的衍射信号对应的脉冲信号，包括：接收所述待分析的衍射信号对应的电荷信号；通过放大器对所述电荷信号进行积分处理，得到与所述衍射信号对应的脉冲信号。

本申请实施例通过利用放大器对电荷信号进行积分放大处理，可以将持续的电荷信号转换为脉冲信号，以便后续进行可以利用信号幅值高效地从脉冲信号中确定出目标信号。

在可选的实施方式中，所述接收所述待分析的衍射信号对应的电荷信号，包括：通过半导体探测头接收所述衍射信号，并根据所述衍射信号生成对应的电荷信号。