[发明专利]下电极及化学气相沉积装置

说明书

本发明公开了一种下电极及化学气相沉积装置，该下电极包括基座、设置于所述基座上的承载板以及镀在所述承载板表面的阳极膜；其中，所述阳极膜包括第一区域以及包围所述第一区域设置的第二区域，所述第一区域的表面粗糙度为第一粗糙度，所述第二区域的表面粗糙度为第二粗糙度，所述第一粗糙度大于所述第二粗糙度，所述承载板用于承载玻璃基板，且所述玻璃基板的四角位于所述第二区域。本发明通过改变下电极阳极膜内第一区域和第二区域的形状，使得化学气相沉积制程中玻璃基板的四角位于所述第二区域，从而减少了玻璃基板下表面边缘因与下电极挤压而产生的刮伤，提高了OLED产品的生产良率。

技术领域

本发明涉及液晶面板制造领域，具体涉及一种下电极及化学气相沉积装置。

背景技术

随着社会发展，对显示设备的需求不断增长，推动了液晶面板行业的快速发展，而化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)装置是液晶面板和半导体制备过程中的关键设备，下电极是化学气相沉积装置中的关键部件。

目前的化学气相沉积装置在工作时，玻璃基板放置在下电极上，玻璃基板的边缘受到遮蔽框的正压力，导致玻璃基板的下表面与下电极产生挤压，进而导致玻璃基板的背部边缘存在刮伤的现象。而有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode，OLED)产品在蒸镀时通常采用背部对位，对位标记的位置正好位于玻璃基板背部刮伤的区域，该刮伤直接影响后段蒸镀对位掩模板的识别，产品无法蒸镀，从而影响OLED产品的生产良率。

综上所述，现有的OLED产品生产中存在因玻璃基板背部刮伤而无法蒸镀的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种下电极及干蚀刻机，用于解决现有的OLED产品生产中存在因玻璃基板背部刮伤而无法蒸镀的技术问题。

为解决上述问题，第一方面，本发明提供一种下电极，包括：基座、设置于所述基座上的承载板以及镀在所述承载板表面的阳极膜；

其中，所述阳极膜包括第一区域以及包围所述第一区域设置的第二区域，所述第一区域的表面粗糙度为第一粗糙度，所述第二区域的表面粗糙度为第二粗糙度，所述第一粗糙度大于所述第二粗糙度，所述承载板用于承载玻璃基板，且所述玻璃基板的四角位于所述第二区域。

在本发明的一些实施例中，所述第一粗糙度为15～25um。

在本发明的一些实施例中，所述第二粗糙度为5～10um。

在本发明的一些实施例中，所述阳极膜的材料为氧化铝。

在本发明的一些实施例中，所述阳极膜的厚度为10～20um。

在本发明的一些实施例中，所述第一区域包括至少一个倒角区域。

在本发明的一些实施例中，所述倒角区域的轮廓为直线倒角或圆倒角。

在本发明的一些实施例中，所述第二区域的外轮廓为矩形，所述矩形的顶点与所述倒角区域的最短距离为第一距离，所述矩形的直线边与所述第一区域的最短距离为第二距离，所述第一距离大于所述第二距离。

在本发明的一些实施例中，所述第一距离的长度为35～100mm，所述第二距离的长度为5～30mm。

第二方面，本发明还提供一种化学气相沉积装置，包括：真空腔、遮蔽框、扩散板、上电极和如以上实施例所述的下电极。

本发明通过改变下电极阳极膜内第一区域和第二区域的形状，使得化学气相沉积制程中玻璃基板的四角位于所述第二区域，由于所述第一区域的表面粗糙度大于所述第二区域的表面粗糙度，从而减少了玻璃基板下表面边缘因与下电极挤压而产生的刮伤，进而OLED产品得以完成后段蒸镀时的对位标记，提高了OLED产品的生产良率。

附图说明