[发明专利]一种基于二氧化硅微球的微电发生器及制备方法有效
| 申请号： | 201911218700.7 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111128551B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 孙丰宁;李露梦;王振宇;蔡一博;焦新兵 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | H01G5/013 | 分类号： | H01G5/013;H01G13/00 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二氧化硅 发生器 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于二氧化硅微球的微电发生器，其特征在于，该微电发生器为可变电容结构，该微电发生器具有两平行的ITO导电膜，两平行的ITO导电膜分别构成可变电容结构的上电极、下电极，所述可变电容结构具有二氧化硅微球构成的绝缘介质层，两ITO导电膜具有外接的电极及引线；
所述二氧化硅微球的直径为10nm-50μm；
所述微电发生器为一个封装件；
基于二氧化硅微球的微电发生器的制备方法，该方法包括：
利用磁控溅射法制备ITO导电膜；
于ITO导电膜上生长二氧化硅微球；
利用磁控溅射或者蒸发金属薄膜法制备ITO导电膜的电极及其引线；
将具有电极及引线的ITO导电膜组装成微电发生器并完成封装；
ITO导电膜是通过磁控溅射法在石英玻璃上生产导电薄膜而成；
所述二氧化硅微球采用自组装方法制备。
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